[發(fā)明專利]一種硅片切割砂漿分離方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110210071.0
• 申請(qǐng)日: 2011-07-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102295981A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李欣;宋文正
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 李欣
• 主分類號(hào): C10M175/00
• 分類號(hào): C10M175/00;C01B33/02;C01B33/037;C01B31/36;B22F9/06
• 代理公司: 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205
• 代理人: 苗峻

1.一種硅片切割砂漿分離方法，其特征在于：其具體步驟如下：

(1)砂漿預(yù)調(diào)制：首先對(duì)硅片切割砂漿加入水進(jìn)行砂漿預(yù)調(diào)制，使待分離的砂漿固液比保持在6∶4左右；

(2)一級(jí)分離：將調(diào)制好的砂漿加溫到20-50℃范圍，攪拌使混合液均勻。混合液通過(guò)離心機(jī)進(jìn)行一級(jí)分離使固液分離，得到液相物A和固相物B，所用離心過(guò)程的轉(zhuǎn)速為1000-1500r/min；

(3)液相物A處理：將液相物A泵送至濾布離心機(jī)進(jìn)行過(guò)濾，去除固相微粒，得到的已除去固形物的清澈液體；

將上述液體加熱至60-65℃，加入脫色劑，攪拌以加速脫色進(jìn)程；

將脫色后經(jīng)過(guò)二級(jí)過(guò)濾，以除去吸附雜質(zhì)后的脫色劑，得到的含水切割液泵入三效蒸發(fā)器，加熱到150℃，蒸發(fā)脫水；待含水切割液蒸發(fā)至含水量≤0.5wt％，再經(jīng)精密過(guò)濾器過(guò)濾，以去除液體中＞1μm雜質(zhì)顆粒和大分子聚乙二醇，即可獲得聚乙二醇回收液；

(4)固相物分離：將固相物B放入攪拌器中，并加入無(wú)離子水使固液比例控制在7∶3后進(jìn)行攪拌，攪拌均勻的液體，泵送到多級(jí)渦旋分流器得到液體C和液體D；

(5)硅微粉分離：將液體C泵送到臥式螺旋離心機(jī)，轉(zhuǎn)速為1000-1500r/min，分離得到膏狀硅微粉和水，將膏狀硅微粉打入閃蒸干燥機(jī)，閃蒸溫度180℃，干燥得到硅微粉；

(6)鐵粉分離：將液體D泵送到電磁分離機(jī)中進(jìn)行分離，得到液體E和固體鐵粉；固體鐵粉干燥至無(wú)水后，即可得到純凈鐵粉；

(7)碳化硅分離：將液體E泵送到臥式螺旋離心機(jī)進(jìn)行分離，轉(zhuǎn)速為1000-1500r/min，得到膏狀碳化硅，將膏狀碳化硅打入閃蒸干燥機(jī)，閃蒸溫度180℃，干燥得到碳化硅粉體，將碳化硅粉體打入氣流分級(jí)機(jī)，即可得到1200號(hào)碳化硅和1200號(hào)以下碳化硅。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離方法，其特征在于：步驟(2)中的使用的離心機(jī)為臥式螺旋卸料沉降離心機(jī)，轉(zhuǎn)速采用1300r/min。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離方法，其特征在于：步驟(2)中液相物A含有固相微粒的聚乙二醇和水；所得固相物B含有呈膏狀的硅微粉、碳化硅和鐵粉。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離方法，其特征在于：步驟(3)中脫色劑為活性炭或過(guò)硫酸銨。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離方法，其特征在于：步驟(3)中的精密過(guò)濾器選自微孔膜過(guò)濾器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離方法，其特征在于：步驟(4)中液體C為硅微粉和水的混合物，液體D為碳化硅、鐵粉和水的混合物。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離方法，其特征在于：步驟(4)中所述的多級(jí)渦旋分流器為多柱錐組合式液-液分離用旋流器。