[發明專利]一種新型的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備

無效

• 申請號: 201110209451.2
• 申請日: 2011-07-26
• 公開（公告）號: CN102896115A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 王守國;趙玲利
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;H05H1/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備，包括高壓電極、介質阻擋層、接地電極、電源、移動機械手、加熱裝置以及進氣和排氣系統。該設備的特性在于高壓電極由介質阻擋層包裹，在常壓下即可在高壓電極和接地電極的間隙中發生放電，產生等離子體，在一定壓力的氣流帶動下，放電區所產生的高活性自由基由噴口噴射出來，在噴射到需要處理的物體表面時，去除物體表面的有機物質。本發明產生的活性自由基可用于硅片無損傷去膠和有機物清洗。

2.如權利1所述的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備，其特性在于：高壓電極是由一個介質阻擋層包覆，該高壓電極是圓柱體形狀或是扁平的形狀，噴口的形狀是圓環型或是扁口形狀，該介質阻擋層為石英材料制成。

3.如權利1所述的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備，其特性在于：地電極是由圓環型或是平板金屬電極制成，該地電極是包覆在高壓電極的外側，該地電極與殼體連接并接地。

4.如權利1所述的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備，其特性在于：與高壓電極連接的電源為高頻高壓電源，電源的輸出峰-峰電壓值大于3000伏。

5.如權利1所述的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備，其特性在于：在包覆高壓電極的絕緣介質和接地電極之間設有一定的間隙，該間隙的尺度范圍是0.5-5毫米。

6.如權利1所述的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備，其特性在于：放電區所采用的氣體是氬氧混合氣體、也可以是氧氣或是潔凈的空氣，氣體的流量是大于5升/分鐘。

7.如權利1所述的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備，其特性在于：該自由基發生器設備由機械手控制可以實現四維的移動。

8.如權利1所述的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備，其特性在于：該設備設有排氣罩和排氣管道，使剩余的自由基束流和與有機物反應后的產物排出。

9.如權利1所述的常壓介質阻擋型活性自由基清洗設備，其特性在于：該硅片襯底下設有加熱裝置，在清洗時，硅片的溫度可以被加熱到200℃以內。