[發(fā)明專利]有機電致發(fā)光顯示器及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110208426.2 | 申請日： | 2011-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN102376896A | 公開（公告）日： | 2012-03-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 樸東昱;姜哲圭 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星移動顯示器株式會社 |
| 主分類號： | H01L51/52 | 分類號： | H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286 | 代理人： | 郭鴻禧;薛義丹 |
| 地址： | 韓國京畿*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 有機 電致發(fā)光 顯示器 及其 制造 方法 | ||
1.一種有機電致發(fā)光顯示器，所述有機電致發(fā)光顯示器包括：
子像素，通過布置在基板上的垂直交叉的柵極線和數(shù)據(jù)線限定，緩沖層設(shè)置在基板上；
驅(qū)動開關(guān)元件，將驅(qū)動電流施加到子像素；
保護層，設(shè)置在整個基板上并且覆蓋數(shù)據(jù)線和驅(qū)動開關(guān)元件；
有機發(fā)光二極管，設(shè)置在子像素中的保護層上以從驅(qū)動開關(guān)元件接收驅(qū)動電流，
其中，數(shù)據(jù)線通過層間絕緣層和柵極絕緣層設(shè)置在緩沖層上。
2.如權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器，其中，數(shù)據(jù)線包括與驅(qū)動開關(guān)元件的源電極和漏電極的材料相同的材料。
3.如權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器，其中，數(shù)據(jù)線埋置在層間絕緣層和柵極絕緣層中。
4.如權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器，其中，數(shù)據(jù)線與層間絕緣層被平坦化。
5.如權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器，所述有機電致發(fā)光顯示器還包括在覆蓋數(shù)據(jù)線和驅(qū)動開關(guān)元件的保護層上的平坦化層。
其中，數(shù)據(jù)線上的平坦化層的厚度大于驅(qū)動開關(guān)元件上的平坦化層的厚度。
6.一種制造有機電致發(fā)光顯示器的方法，所述方法包括以下步驟：
在由子像素單元和數(shù)據(jù)線單元限定的整個基板上形成緩沖層；
在子像素單元的緩沖層上形成半導(dǎo)體層；
在設(shè)置有半導(dǎo)體層的基板的整個表面上形成柵極絕緣層；
在子像素單元的柵極絕緣層上形成柵電極，以覆蓋半導(dǎo)體層；
在基板的整個表面上形成層間絕緣層，以覆蓋柵電極；
選擇性地蝕刻層間絕緣層和柵極絕緣層使得子像素單元的半導(dǎo)體層的源極區(qū)和漏極區(qū)被暴露，并且至少部分地去除數(shù)據(jù)線單元的層間絕緣層和柵極絕緣層使得數(shù)據(jù)線單元的緩沖層被暴露；
形成結(jié)合到子像素單元的暴露的半導(dǎo)體層的源電極和漏電極，并在數(shù)據(jù)線單元的暴露的緩沖層上形成數(shù)據(jù)線。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，數(shù)據(jù)線埋置在層間絕緣層和柵極絕緣層中。
8.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，數(shù)據(jù)線與層間絕緣層被平坦化。
9.如權(quán)利要求6所述的方法，所述方法還包括如下步驟：
在設(shè)置有數(shù)據(jù)線、源電極和漏電極的基板的整個表面上形成保護層；
在子像素單元中形成通過保護層電結(jié)合到漏電極的陽極；
在基板上形成平坦化層，從而暴露陽極；
在暴露的陽極上形成有機發(fā)光層；
在形成有有機發(fā)光層的基板的整個表面上形成陰極，從而形成有機電致發(fā)光顯示器。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其中，形成在數(shù)據(jù)線上的平坦化層的厚度大于形成在源電極和漏電極上的平坦化層的厚度。
11.一種制造有機電致發(fā)光顯示器的方法，所述方法包括以下步驟：
在由子像素單元和數(shù)據(jù)線單元限定的整個基板上形成緩沖層；
在子像素單元處的緩沖層上形成驅(qū)動開關(guān)元件；
在數(shù)據(jù)線單元處的緩沖層上形成數(shù)據(jù)線；
在設(shè)置有驅(qū)動開關(guān)元件和數(shù)據(jù)線的基板的整個表面上形成保護層；
在子像素單元的保護層上形成電結(jié)合到驅(qū)動開關(guān)元件的有機發(fā)光二極管，
其中，在緩沖層上形成數(shù)據(jù)線的步驟包括至少部分地暴露數(shù)據(jù)線單元，同時執(zhí)行接觸孔工藝以形成驅(qū)動開關(guān)元件的源電極和漏電極。
12.如權(quán)利要求11所述的方法，其中，數(shù)據(jù)線埋置在形成在基板的整個表面上的層間絕緣層和柵極絕緣層中。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中，數(shù)據(jù)線與層間絕緣層被平坦化。
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H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設(shè)備
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H01L51-52 ..器件的零部件
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