[發(fā)明專利]鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110206307.3
• 申請日: 2011-07-22
• 公開（公告）號: CN102220558A
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃雙華;鄒敏;賴奇;藍(lán)德均
• 申請（專利權(quán)）人: 攀枝花學(xué)院
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/16
• 代理公司: 成都虹橋?qū)＠聞?wù)所 51124
• 代理人: 武森濤

1.鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法，采用等離子體物理濺射氣相沉積技術(shù)，其特征在于，在濺射鍍鈦過程中加熱，加熱溫度為50-450℃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法，其特征在于：所述加熱溫度為100-400℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法，其特征在于：所述加熱溫度控制為250℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法，其特征在于：所述濺射鍍鈦過程中基底施加脈沖偏壓，基底脈沖偏壓為60-280V。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法，其特征在于：所述基底脈沖偏壓為60-240V。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法，其特征在于：所述基底脈沖偏壓為60-120V。