[發明專利]顯示器及其制作方法

有效

• 申請號: 201110205923.7
• 申請日: 2011-07-22
• 公開（公告）號: CN102354695A
• 公開（公告）日: 2012-02-15
• 發明（設計）人: 卓恩宗;林威廷;張鈞杰;張天豪;陳伯綸;廖唯倫
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H01L27/144
• 分類號: H01L27/144;H01L21/77;G06F3/042
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 彭久云

1.一種顯示器，包括：

基板；

有源元件，配置于該基板上，該有源元件具有溝道層；

像素電極，配置于該基板上，且電性連接該有源元件；

感光元件，配置于該基板上，該感光元件包括：

下電極，配置于該基板上；

感光疊層，配置于該下電極上，該感光疊層包括堆疊的感光富硅介電層以及輔助層，其中該溝道層與該輔助層為同一層，且由氧化物半導體所構成；以及

透明上電極，配置于該感光疊層上。

2.如權利要求1所述的顯示器，其中該氧化物半導體包括銦鎵鋅氧化物。

3.如權利要求1所述的顯示器，其中該輔助層位于該感光富硅介電層與該下電極之間。

4.如權利要求1所述的顯示器，其中該輔助層位于該感光富硅介電層與該透明上電極之間。

5.如權利要求1所述的顯示器，其中該像素電極與該透明上電極由同一層所構成。

6.如權利要求1所述的顯示器，其中該有源元件包括：

柵極，配置于該基板上；

柵極介電層，配置于該基板上，并且覆蓋該柵極；

源極與漏極，配置于該柵極介電層上，且位于該柵極兩側；以及

該溝道層，配置于該柵極介電層上且位于該柵極上方，且該溝道層位于該源極與該漏極之間。

7.如權利要求6所述的顯示器，其中該下電極與該柵極由同一層所構成。

8.如權利要求6所述的顯示器，其中該下電極跟該源極與該漏極由同一層所構成。

9.如權利要求6所述的顯示器，還包括保護層，該保護層覆蓋該柵極介電層、該源極與該漏極以及該氧化物半導體層，該保護層具有接觸窗，該像素電極經由該接觸窗跟該漏極電性連接，且該保護層具有開口，該透明上電極經由該開口跟該感光疊層電性連接。

10.如權利要求6所述的顯示器，其中該溝道層位于該源極與該漏極之間，且位于部分該源極與該漏極上。

11.如權利要求7所述的顯示器，其中該溝道層位于該源極與該漏極之間，且位于部分該源極與該漏極下。

12.如權利要求1所述的顯示器，其中，該顯示器具有顯示區以及位于顯示區外圍的周邊電路區，其中該有源元件位于該顯示區內，而該感光元件位于該周邊電路區內。

13.如權利要求1所述的顯示器，其中，該顯示器具有多個像素區，呈陣列排列，且該有源元件與該感光元件位于同一個像素區內。

14.如權利要求1所述的顯示器，還包括顯示材料層與對向電極，該顯示材料層設置于該像素電極上，且該對向電極設置在該顯示材料層上。

15.如權利要求14所述的顯示器，其中該顯示材料層包括液晶層、有機發光層或電泳材料層。

16.一種顯示器，包括：

基板；

有源元件，配置于該基板上，該有源元件具有溝道層；

像素電極，配置于該基板上，且電性連接該有源元件；

感光元件，配置于該基板上，該感光元件包括：

下電極，配置于該基板上；

感光疊層，配置于該下電極上，該感光疊層包括堆疊的感光材料層以及輔助層，其中該溝道層與該輔助層為同一層，且由氧化物半導體所構成；以及

透明上電極，配置于該感光疊層上。

17.如權利要求16所述的顯示器，其中該感光材料層包括感光富硅介電層或感光半導體層。

18.一種顯示器的制作方法，包括：

提供基板；

在該基板上制作有源元件，該有源元件具有溝道層；

于該基板上形成下電極；

于該下電極上形成感光疊層，該感光疊層包括堆疊的感光富硅介電層以及輔助層，其中該溝道層與該輔助層為同一層，且由氧化物半導體所構成；

于該感光疊層上形成透明上電極；以及

于該基板上形成像素電極，且電性連接該有源元件。