[發明專利]一種應用于汽車普通碳鋼運動摩擦副表面耐磨涂層

無效

• 申請號: 201110205257.7
• 申請日: 2011-07-21
• 公開（公告）號: CN102286726A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 安宇鵬;張克金;王丹;戈非;魏曉川;武彬;米新艷
• 申請（專利權）人: 中國第一汽車股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;B32B15/04;B32B9/04;B32B15/18
• 代理公司: 吉林長春新紀元專利代理有限責任公司 22100
• 代理人: 王薇

1.一種應用于汽車普通碳鋼運動摩擦副表面耐磨涂層，由基體，緩沖層，過渡層，表層組成；其特征在于基體上依次涂敷緩沖層、過渡層和表層；涂層的制備工藝如下：

1）將基體依次在丙酮和乙醇中采用中頻脈沖磁控濺射技術進行超聲波清洗10-15min，清洗后放入真空室內；

2）制備緩沖層時將真空室抽真空，然后通入氬氣，對基材和靶進行等離子清洗；以金屬為靶材，在基材表面沉積一金屬緩沖層；通入氬氣流量50-300sccm，金屬靶電流為8-20A，占空比為40-80%，頻率為20-160Hz，脈沖偏壓50-1600V，占空比50-85%，頻率為60-100，沉積時間10-30?min，沉積氣壓?0.1-1Pa；

3）制備過渡層時向真空室內通入氬氣和甲烷，以金屬為靶，甲烷為前軀體，在金屬表面沉積一碳化物過渡層；其CH₄流量為20-200sccm，沉積時間?10-20min；

4）制備表層時以石墨為靶材，在碳化物層上沉積一類金剛石碳層，其石墨靶電流為10-20A，沉積時間10-30min。

2.根據權利要求1所述的一種應用于汽車普通碳鋼運動摩擦副表面耐磨涂層，其特征在于緩沖層是由鉻、鉬、鈦、鎢等金屬中的一種或2種以上的組合，厚度為0.5-3μm。

3.根據權利要求1所述的一種應用于汽車普通碳鋼運動摩擦副表面耐磨涂層，其特征在于過渡層是鉻、鉬、鈦、鎢等金屬中的一種或2種以上的金屬的碳化物組合，厚度為0.6-3μm。

4.根據權利要求1所述的一種應用于汽車普通碳鋼運動摩擦副表面耐磨涂層，其特征在于表層是含氫類金剛石碳層，厚度為1-4μm。