[發明專利]長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置

有效

• 申請號: 201110205060.3
• 申請日: 2011-07-21
• 公開（公告）號: CN102295268A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 陳濤;陳立國;潘明強;王振華;孫榮川;嚴琴
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮;李辰

技術領域

本發明涉及一種加熱加壓裝置，尤其涉及一種用于長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置。?

背景技術

器件級封裝是我國MEMS(Micro-Electro-Mechanical?Systems，微機電系統)產業多品種、高特異性、中小批量產業化發展階段常用的封裝方式。器件級封裝中單芯片陽極鍵合是重要的組成環節。隨著MEMS技術的發展，其工藝裝備市場潛力非常巨大。隨著壓阻傳感器等MEMS器件產業化應用日趨成熟，封裝中必不可少的可適應不同玻璃體形狀的單芯片陽極鍵合工藝設備需求量也越來越明顯。與此同時，隨著MEMS器件性能要求越來越高，支撐玻璃體形狀對器件性能影響逐漸被越來越多的人關注，如采用細長玻璃管支撐的壓力傳感器精度優于普通玻璃體支撐。而玻璃體形狀變化直接影響單芯片陽極鍵合工藝參數和能量傳輸方式，對鍵合裝備的適應性要求更高。因此，開發適應性強、高效、多功能單芯片陽極鍵合設備對提升MEMS器件研究水平具有重要的現實意義。?

因此，針對上述技術問題，有必要提供一種適應性強的用于長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置，以解決上述問題。?

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種用于長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加電裝置，可以靈活的集成在單芯片陽極鍵合設備中，該長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加電裝置適應性強，鍵合精度高，可有效解決硅片與玻璃柱加電壓困難的問題。?

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：?

一種長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加電裝置，其包括自適應壓頭、加熱臺、集成于加熱臺內的加熱管、設于加熱臺上的加熱塊、安裝于加熱塊上的陶瓷塊、底座以及安裝于底座上的氣缸，所述自適應壓頭包括連桿、與連桿連接的絕緣?塊、與絕緣塊連接的壓頭座、安裝在壓頭座內的壓頭、安裝在壓頭座上的玻璃柱加電簧片、安裝在絕緣塊上的硅片加電簧片，所述自適應壓頭通過連桿與氣缸連接，所述玻璃柱加電簧片包括兩個，該兩個玻璃柱加電簧片分別夾緊于玻璃柱的兩側。?

優選的，在上述長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置中，所述玻璃柱加電簧片包括抵壓在壓頭座上的彈性抵壓部以及自彈性抵壓部末端朝玻璃柱彎折延伸的夾持部，所述夾持部的末端設有圓弧型的接觸部，所述接觸部與玻璃柱的外表面接觸。?

優選的，在上述長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置中，所述陶瓷塊是兩個且可移動，所述兩個陶瓷塊分別與兩個玻璃柱加電簧片抵壓。?

優選的，在上述長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置中，所述陶瓷塊上設有斜面，所述玻璃柱加電簧片與斜面31相互抵壓。?

優選的，在上述長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置中，所述硅片加電簧片與硅片的一邊接觸，所述硅片加電簧片可彈性變形以適應不同厚度的硅片。?

優選的，在上述長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置中，所述自適應加電壓頭上安裝有兩種分別接高電壓和零點的接頭，該兩種接頭分別接高壓壓片和零點壓片。?

優選的，在上述長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置中，所述連接桿上設有一開口比較大的實現壓頭變路徑運動的“V”型槽，初始時壓頭的位置相對硅片傾斜。?

優選的，在上述長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置中，所述加熱塊中有內孔，所述內孔內集成了真空管路，所述真空管路吸附硅片。?

優選的，在上述長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置中，還包括實現加熱臺的溫度控制的爐溫傳感器，所述爐溫傳感器對溫度進行反饋。?

從上述技術方案可以看出，本發明實施例的采用從玻璃柱的兩側夾緊進行加電的方式，不但可以保證加電效果，大大提高鍵合效率，而且在玻璃柱很長的情況下，可以縮短鍵合時間，便于調整加電高度。?

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。?

圖1是本發明長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置的結構示意圖；?

圖2是本發明長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置的側視圖；?

圖3是本發明長玻璃柱體陽極鍵合的加熱加壓裝置中的自適應壓頭的結構示意圖。?