[發明專利]電子部件輸送裝置

有效

• 申請號: 201110203650.2
• 申請日: 2008-06-20
• 公開（公告）號: CN102288900A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 山崎孝;藤森廣明;前田直久;桐原大輔;中村敏;前田政己
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

本申請是申請號為200810126981.9、申請日為2008年6月20日、發明名稱為“部件輸送裝置以及IC處理機”的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及一種部件輸送裝置。

背景技術

一般情況下，在半導體芯片等電子部件的試驗裝置(IC處理機)中，包括用于搬送電子部件的多個搬送用自動裝置。通過輸送用自動裝置，將檢查前的電子部件向用于進行測量的檢查用插座搬送，在檢查結束之后，從檢查用插座取回。

具體地說，例如檢查前的電子部件通過供給自動裝置被吸附保持，然后被放開并配置于往復裝置的供給凹處中之后，通過往復裝置將其移動至被測量自動裝置吸附保持的位置。測量自動裝置將檢查前的電子部件從往復裝置分離并配置于檢查用插座上，在檢查結束之后，由測量自動裝置再次吸附保持該電子部件，以使其從檢查用插座分離并配置于往復裝置的收回凹處中。然后，由往復裝置將檢查后的電子部件移動至收回自動裝置的位置，由收回自動裝置將該電子部件(從往復裝置)分離并配置于符合測試結果的收回托盤中。

在由這些供給自動裝置、測量自動裝置以及收回自動裝置依次輸送檢查用插座或各個凹處時，需要將電子部件配置在該檢查用插座或該各個凹處的規定位置上。特別是，在將電子部件配置于檢查用插座上時，需要使檢查用插座的測量端子和電子部件的端子非常合適地進行接觸，因此，期望電子部件和檢查用插座之間的相對偏移非常微小。此外，在將電子部件配置于其他各個凹處中時，也期望各個凹處和電子部件之間的相對偏移非常小。

作為縮小電子部件和檢查用插座等之間的相對偏移的方法，有如下所述的方法：將由照相機拍攝的電子部件或檢查用插座等圖像數據進行圖像處理并計算相對偏移的量，基于該運算結果，只進行相對偏移的量的位置校正。

此外，現有技術中提出了用于校正插座等和電子部件之間的相對偏移的一個方法(專利文件1)。專利文件1的IC處理機從往復裝置向測試裝置輸送檢查前的電子部件時，由配置在往復裝置和測試插座(測試裝置)之間的照相機拍攝被輸送裝置的輸送用頭所吸附保持的該電子部件。此外，由配置于輸送用頭上的照相機拍攝測試裝置。IC處理機的控制裝置對這些拍攝獲得的各圖像數據進行圖像處理，并計算電子部件和測試裝置的相對偏移，基于計算結果使輸送裝置的調整機構進行動作，進行輸送用頭的位置調整，校正電子部件相對于測試裝置的相對偏移。

此外，IC處理機在從往復裝置向托盤輸送檢查結束的電子部件時，使用于吸附保持該電子部件、并從往復裝置向托盤輸送的P&P自動裝置移動至配置于其可以移動范圍內的照相機上方，由該照相機拍攝電子部件的吸附狀態。IC處理機的控制裝置對拍攝獲得的圖像數據進行圖像處理，計算電子部件和托盤的相對偏移，基于計算結果使自動裝置的調整機構動作，校正電子部件相對于托盤的相對偏移。

但是，在專利文件1中，為了計算輸送用頭和測試插座的相對偏移，需要在各輸送用頭上高精度地安裝照相機。此外，在因為由于熱導致的伸縮或振動等，導致輸送用頭和照相機的相對位置關系發生變化時，無法檢測出該變化，并反映在相對偏移的計算結果中。

于是，提出了直接拍攝電子部件和測試裝置的方法(專利文件2)。專利文件2的IC處理機是在將輸送裝置所保持的檢查前的電子部件與測試裝置對置地配置在測試裝置的上方時，由與鏡一樣安裝在相同支承部件上的照相機同時拍攝鏡的鏡像，該鏡配置成在電子部件和測試裝置之間，并可以反射電子部件和測試裝置這兩部分。

日本專利文件1：再公表特許公報WO2003/023430

日本專利文件2：特許第3063899號公報

但是，在專利文件2中，為了在鏡中反射電子部件和測試裝置這兩部分，鏡的配置以及調整非常復雜。此外，用于拍攝其鏡像的照相機的配置以及調整也并不簡單。而且，在拍攝電子部件和測試裝置時，由于要在電子部件和測試裝置之間配置鏡，所以，鏡的配置以及退避都需要時間。

發明內容

為了解決上述問題點，本發明的目的在于提供一種隨時反映機械性變形或熱導致的伸縮，將電子部件適當地配置在插座上的部件輸送裝置。