[發(fā)明專利]形成圖案的方法及采用該方法形成有圖案的殼體

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110203623.5
• 申請(qǐng)日: 2011-07-20
• 公開（公告）號(hào): CN102890403A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周景瑜;吳長(zhǎng)錦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/00
• 分類號(hào): G03F7/00;G03F7/20;G03F7/30;G03F7/42
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種形成圖案的方法，其用于在物件的曲面上形成圖案，其包括以下步驟：

在所述曲面上形成光阻層，所述光阻層的材料為負(fù)光阻材料；

提供光罩，使所述光罩設(shè)置于所述曲面上方，且所述光罩上開設(shè)有透光孔，所述透光孔的形狀與所述圖案的形狀相對(duì)應(yīng)；

提供光源，并對(duì)形成于所述曲面的光阻層進(jìn)行曝光；

對(duì)經(jīng)過(guò)曝光的光阻層進(jìn)行顯影；

對(duì)顯影后的光阻層進(jìn)行清洗，以在所述曲面上形成所述圖案。

2.如權(quán)利要求1所述的形成圖案的方法，其特征在于：所述光罩包括與所述物件的曲面形狀相同的曲面，使所述光罩的曲面與所述物件的曲面相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述透光孔的形狀與所述圖案的形狀相同。

3.如權(quán)利要求1所述的形成圖案的方法，其特征在于：所述光罩為平板結(jié)構(gòu)，并通過(guò)計(jì)算機(jī)模擬得到所述透光孔的形狀與所述圖案的形狀的對(duì)應(yīng)關(guān)系，以在所述光罩上開設(shè)所述透光孔。

4.如權(quán)利要求1所述的形成圖案的方法，其特征在于：所述物件的材料為金屬、塑料、玻璃或陶瓷。

5.如權(quán)利要求1所述的形成圖案的方法，其特征在于：所述曲面為內(nèi)凹曲面或外凸曲面。

6.一種形成圖案的方法，其用于在物件的曲面上形成圖案，其包括以下步驟：

在所述曲面上形成光阻層，所述光阻層的材料為正光阻材料；

提供光罩，使所述光罩設(shè)置于所述曲面上方，且所述光罩上開設(shè)有透光孔，以使所述光罩的形狀與所述圖案的形狀相對(duì)應(yīng)；

提供光源，并對(duì)形成于所述曲面的光阻層進(jìn)行曝光；

對(duì)經(jīng)過(guò)曝光的光阻層進(jìn)行顯影；

對(duì)顯影后的光阻層進(jìn)行清洗，以在所述曲面上形成所述圖案。

7.如權(quán)利要求6所述的形成圖案的方法，其特征在于：所述光罩包括與所述物件的曲面形狀相同的曲面，使所述光罩的曲面與所述物件的曲面相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述光罩的曲面形狀與所述圖案的形狀相同。

8.如權(quán)利要求6所述的形成圖案的方法，其特征在于：所述光罩為平板結(jié)構(gòu)，并通過(guò)計(jì)算機(jī)模擬得到所述光罩的形狀與所述圖案的形狀的對(duì)應(yīng)關(guān)系，以在所述光罩上開設(shè)所述透光孔。

9.一種殼體，其包括曲面，且該曲面上形成有圖案，其特征在于：該圖案由光阻層經(jīng)過(guò)曝光顯影制成。

10.如權(quán)利要求9所述的殼體，其特征在于：所述殼體的曲面為內(nèi)凹曲面或外凸曲面。