[發(fā)明專利]一種釕酸鍶靶的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110203525.1 | 申請日： | 2011-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN102259937A | 公開（公告）日： | 2011-11-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃富強(qiáng);劉戰(zhàn)強(qiáng) | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 |
| 主分類號： | C01G55/00 | 分類號： | C01G55/00;C04B35/01;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/34 |
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| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 釕酸鍶靶 制備 方法 | ||
1.一種釕酸鍶陶瓷靶的制備方法，其特征在于采用低溫預(yù)燒-高溫加壓燒結(jié)兩步法制備出SRO陶瓷靶，具體制備步驟為：
(1)將SrCO3、Ru源按摩爾比0.95-1.06∶1配制成SrRuO3比例混合，研磨混合均勻并壓片；
(2)壓片后的原料在550-950℃下預(yù)燒2-24h，取出研磨至粉體；按SrRuO3質(zhì)量百分比為1-10％的比例加入粘結(jié)劑后再次研磨并至均勻混合。
(3)將混勻后的粉末壓成預(yù)置圓片或者方片；
(4)將壓制得到的預(yù)置片材放入熱壓模套中，并用填料進(jìn)行填埋；
(5)將熱壓模套轉(zhuǎn)移至熱壓爐內(nèi)，溫度升至400-600℃并保溫1-5h；接著溫度升至800-1050℃并保溫1-15h；保溫結(jié)束后再將溫度升至1200-1600℃，同時在升溫過程中逐漸對預(yù)置圓片或方片加壓至100-200MPa；之后保溫保壓2-24h；
(6)結(jié)束后取出SRO片材，清除表面填料后得到SRO靶材，所述的SRO為釕酸鍶的英文縮寫。
2.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述的Ru源可以是Ru、RuO2的任一種或兩種的混合物。
3.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述的粘結(jié)劑為甲基纖維素、聚乙烯醇、羥丙基甲基纖維素或聚酰胺中的任一種或任兩種的混合物。
4.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述的填料為鋯砂和氧化鋁粉中的任一種或兩種的混合物。
5.按權(quán)利要求1或4所述的方法，其特征在于所述的填料粒徑為5-200目。
6.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述的加壓方法為每30-50min加壓5-20MPa。
7.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于熱壓模套材料為碳化硅、氧化鋁或者氮化硼。
8.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于制備的SRO陶瓷靶可達(dá)理論密度86-88％。
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