[發(fā)明專利]多注行波管陰極可伐熱屏的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110203103.4
• 申請(qǐng)日: 2011-07-19
• 公開（公告）號(hào): CN102339702A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳華夏;賀兆昌;孟昭紅;謝智能;陳愛民;于晨晨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽華東光電技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): H01J9/02
• 分類號(hào): H01J9/02
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林;嚴(yán)志平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種多注陰極組件的制備方法，尤其是涉及一種多注行波管陰極可伐熱屏的制備方法，屬于陰極組件制備技術(shù)領(lǐng)域。?

背景技術(shù)

多注行波管是在大功率行波管的基礎(chǔ)上，將多電子注技術(shù)、寬帶技術(shù)、周期永磁聚焦和高發(fā)射密度陰極等結(jié)合在一起而發(fā)展起來的一種新穎的大功率微波真空電子器件。其具有導(dǎo)流系數(shù)高、工作電壓低、體積、重量小、頻帶寬、頻率和增益高等優(yōu)點(diǎn)。這些特點(diǎn)使它成為一種低工作電壓、緊湊型的大功率微波放大器件，是現(xiàn)在大功率微波電子系統(tǒng)的發(fā)射機(jī)末級(jí)功率放大器最有競(jìng)爭(zhēng)力的器件之一。?

現(xiàn)在的多注行波管幾乎都是基于諧振腔基模工作的，研制中需要解決許多理論技術(shù)、工藝等方面問題，其中，最關(guān)鍵的技術(shù)問題之一是制備具有高發(fā)射電流密度的陰極組件，尤其是彈載多注行波管對(duì)陰極組件的要求更加苛刻，它不但要求陰極組件具有高發(fā)射電流密度，還要求陰極組件具有耐振動(dòng)、耐沖擊以及高可靠等特點(diǎn)。而對(duì)陰極熱屏零件來講，不但需要滿足熱子組件在低溫狀態(tài)下陰極能夠正常工作，而且還需要零件具有優(yōu)化結(jié)構(gòu)，因此熱屏零件需要具有高的熱屏蔽效果、合理結(jié)構(gòu)、高精度和高機(jī)械性能。?

發(fā)明內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種具有高精度、高機(jī)械性能、結(jié)構(gòu)合理且熱屏蔽效果高的多注行波管陰極可伐熱屏的制備方法。?

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明是通過以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的：?

一種多注行波管陰極可伐熱屏的制備方法，對(duì)可伐毛坯零件先進(jìn)行氫氣退火處理，以消除應(yīng)力，降低硬度、穩(wěn)定尺寸，增加可塑性，采用高精度的模具保證沖壓、旋壓、車加工和電火花加工，然后將加工好的零件經(jīng)過化學(xué)處理去除由機(jī)械加工帶來的雜質(zhì)和油漬，最后把清洗后的零件經(jīng)過真空高頻退火處理，進(jìn)一步凈化零件，同時(shí)去除零件表面吸附的氣體，提高零件的光潔度，得到高精度、高熱屏蔽效率的多注陰極可伐熱屏，具體包括以下步驟：

（1）對(duì)可伐片材進(jìn)行可伐毛坯加工：首先將可伐片材切割成滿足加工要求的條帶，然后將條帶沖切成圓片并去除圓片周邊的毛刺；

（2）在超聲波中清洗可伐毛坯零件：對(duì)步驟（1）加工后的可伐毛坯零件進(jìn)行超聲波清洗，然后進(jìn)行脫水及干燥；

（3）酸洗拋光：將步驟（2）干燥后的可伐毛坯零件放入化學(xué)拋光溶液中進(jìn)行酸洗拋光，然后進(jìn)行清洗、脫水和干燥處理；

（4）對(duì)可伐毛坯零件進(jìn)行氫氣退火處理：將步驟（3）中處理好的可伐毛坯零件放入鉭筒中，然后將鉭筒放在高頻爐的工件托架上，并放好鐘罩，進(jìn)行真空高頻氫氣退火處理；

（5）旋壓處理：用頂針經(jīng)襯套將步驟（4）經(jīng)過氫氣退火處理的可伐毛坯零件壓緊到一次旋壓夾具上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，啟動(dòng)車床，調(diào)整可伐毛坯零件位置，使其圓心與一次旋壓夾具端面圓心在一條直線上，然后用黃銅旋壓棒緊靠在車床附加柱子上，使黃銅旋壓棒圓端緊壓在可伐毛坯零件右側(cè)，隨著車床轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，緩慢地將可伐毛坯零件旋壓在一次旋壓夾具上，旋壓結(jié)束后，松開夾具，取下一次旋壓形成的可伐毛坯零件，然后再重復(fù)上述步驟（2）、（3）、（4），且進(jìn)行二次旋壓，用頂針經(jīng)襯套將完成一次旋壓的可伐毛坯零件緊固到二次旋壓夾具上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，啟動(dòng)車床，然后用黃銅旋壓棒緊靠在車床附加柱子上，使黃銅旋壓棒圓端緊壓在可伐毛坯零件右側(cè)，隨著車床轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，緩慢地將可伐毛坯零件旋壓在二次旋壓夾具夾具上，旋壓結(jié)束后，松開夾具，取下二次旋壓形成的可伐毛坯，且二次旋壓后重復(fù)步驟（4）；

（6）對(duì)可伐毛坯零件進(jìn)行車加工處理：將可伐毛坯零件放到鏜加工卡頭夾具上，車削可伐毛坯零件的端面尺寸和外徑尺寸，并磨鈍銳邊，車加工完成后去除毛刺，并重復(fù)步驟（2）、（3）；

（7）檢測(cè)可伐毛坯零件尺寸：通過塞規(guī)檢測(cè)零件尺寸，并放大檢測(cè)零件是否有毛刺；

（8）加工槽：通過電火花加工8或12個(gè)槽，并檢測(cè)槽的尺寸，然后重復(fù)步驟（2）和步驟（3）；

（9）真空高頻退火處理：將經(jīng)過步驟（8）處理過的零件進(jìn)行兩級(jí)真空高頻退火處理后得到多注行波管陰極可伐熱屏。

其中，步驟（2）所述的超聲波的震蕩頻率為17.5～23.5KHz，清洗時(shí)間為15～20min，且清洗結(jié)束后的電阻大于2MΩ，且通過無水乙醇進(jìn)行3-5s的脫水處理，而干燥條件為干燥溫度75～85°C、干燥時(shí)間為10～45min。?

步驟（3）所述的化學(xué)拋光溶液包括硫酸、硝酸和醋酸，且硫酸、硝酸和醋酸的體積比為：5±0.2：300±10：700±15。?