[發明專利]高精度集成電路器件測試設備

有效

• 申請號: 201110203000.8
• 申請日: 2011-07-20
• 公開（公告）號: CN102890231A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 殷華湘;梁擎擎;鐘匯才
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R27/26;G01R27/08
• 代理公司: 北京藍智輝煌知識產權代理事務所(普通合伙) 11345
• 代理人: 陳紅

1.一種高精度集成電路器件測試設備，包括倍頻器、高頻信號源、電橋自動平衡模塊、混頻器和電壓矢量檢測模塊，倍頻器將基頻信號倍增至高頻，高頻信號源將測試信號輸送至待測器件，輸出的測試結果信號先經過電橋自動平衡模塊輸送至末端混頻器以降低至基頻，然后通過電壓矢量檢測模塊輸出最終的測試結果，其特征在于：同一電路內高頻信號源通過倍頻器產生兩種不同頻率的高頻測試信號用于半導體器件的高頻與射頻雙模式的等效阻抗檢測。

2.如權利要求1的設備，其中，所述測試信號為射頻信號以及超高頻信號。

3.如權利要求2的設備，其中，所述射頻信號頻率大于1GHz，所述超高頻信號頻率為2至200MHz。

4.如權利要求1的設備，其中，采用多級倍頻器將基頻倍增到測試信號所需的頻率。

5.如權利要求4的設備，其中，所述基頻頻率為32.768KHz、100KHz、200KHz、455KHz、600KHz、1MHz。

6.如權利要求1的設備，其中，所述高頻信號源包括外接射頻源。

7.如權利要求6的設備，其中，外接射頻源經由倍頻器連接至信號源端的混頻器，從而產生射頻信號。

8.如權利要求1的設備，其中，所述電壓矢量檢測模塊包括電壓計、相位探測器、調制器、模數轉換器。

9.如權利要求1的設備，其中，所述電橋自動平衡模塊包括電阻、平衡器、放大器和電壓計，用于將待測器件輸出的信號輸送至混頻器。