[發明專利]無鎘銅銦鎵硒薄膜太陽能電池及其硫化鋅緩沖層薄膜的制備方法

無效

• 申請號: 201110202078.8
• 申請日: 2011-07-18
• 公開（公告）號: CN102270699A
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 盧蘭蘭;劉壯;肖旭東
• 申請（專利權）人: 中國科學院深圳先進技術研究院
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C03C17/36
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種無鎘銅銦鎵硒薄膜太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一、在襯底上依次形成背電極和銅銦鎵硒光吸收層，形成樣片；

步驟二、將二水合醋酸鋅溶解于無水乙醇中，再加入穩定劑，加熱形成溶膠；

步驟三、將所述樣片浸入所述溶膠中，浸漬時間為5～10秒，然后將所述樣片從所述溶膠中提起；

步驟四、將所述樣片在100～200℃下干燥30分鐘，使所述樣片表面形成氧化鋅薄膜；

步驟五、將所述樣片放入硒化室內在硫化氫的氣氛下進行退火處理，將所述氧化鋅薄膜轉化為硫化鋅緩沖層薄膜；及

步驟六、在所述硫化鋅緩沖層薄膜上依次形成阻擋層及窗口層，得到所述無鎘銅銦鎵硒薄膜太陽能電池。

2.根據權利要求1所述的無鎘銅銦鎵硒薄膜太陽能電池的制備方法，其特征在于：步驟二中，所述穩定劑為乙醇胺。

3.根據權利要求1所述的無鎘銅銦鎵硒薄膜太陽能電池的制備方法，其特征在于：步驟二中，所述加熱的溫度為60～70℃。

4.根據權利要求1所述的無鎘銅銦鎵硒薄膜太陽能電池的制備方法，其特征在于：步驟二中，所述二水合醋酸鋅在所述溶膠中的濃度為0.1～0.8mol/L。

5.根據權利要求1所述的無鎘銅銦鎵硒薄膜太陽能電池的制備方法，其特征在于：步驟四中，所述氧化鋅薄膜的厚度為30～200nm。

6.根據權利要求1所述的無鎘銅銦鎵硒薄膜太陽能電池的制備方法，其特征在于：步驟五中，退火處理的溫度為400～500℃，時間為10～60分鐘。

7.一種硫化鋅緩沖層薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

將二水合醋酸鋅溶解于無水乙醇中，再加入穩定劑，加熱形成溶膠；

將樣片浸入所述溶膠中，浸漬時間為5～10秒，然后將所述樣片從所述溶膠中提起；

將所述樣片在100～200℃下干燥30分鐘，使所述樣片表面形成氧化鋅薄膜；及

將所述樣片在硫化氫的氣氛下進行退火處理，將所述氧化鋅薄膜轉化為硫化鋅緩沖層薄膜。

8.根據權利要求7所述的硫化鋅緩沖層薄膜的制備方法，其特征在于：所述穩定劑為乙醇胺。

9.根據權利要求7所述的硫化鋅緩沖層薄膜的制備方法，其特征在于：所述加熱的溫度為60～70℃。

10.根據權利要求7所述的硫化鋅緩沖層薄膜的制備方法，其特征在于：所述二水合醋酸鋅在所述溶膠中的濃度為0.1～0.8mol/L。