[發明專利]一種用脈沖調制改善等離子體特性的方法無效
| 申請號： | 201110201567.1 | 申請日： | 2011-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN102281698A | 公開（公告）日： | 2011-12-14 |
| 發明（設計）人： | 張鵬云;孫繼忠;王華強 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 大連理工大學專利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 116100*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 脈沖調制 改善 等離子體 特性 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用脈沖調制改善等離子體特性的方法，其特征是：
(1)對電源進行脈沖調制，脈沖調制頻率為20Hz-2KHz，占空比為5-95％；
(2)要調制的電源的頻率在2MHz-100MHz。
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