[發明專利]一種能分辨光子數的超導納米線單光子探測器及制備方法有效
| 申請號： | 201110197620.5 | 申請日： | 2011-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN102353464A | 公開（公告）日： | 2012-02-15 |
| 發明（設計）人： | 成日盛;劉建設;李鐵夫;陳煒 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | G01J11/00 | 分類號： | G01J11/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安智大知識產權代理事務所 61215 | 代理人： | 賈玉健 |
| 地址： | 100084 北京市海淀區1*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 分辨 光子 導納 米線 探測器 制備 方法 | ||
1.一種能分辨光子數的超導納米線單光子探測器，其特征在于，由N個串聯的超導納米線以及相應的N個旁路電阻組成。
2.根據權利要求1所述的能分辨光子數的超導納米線單光子探測器，其特征在于，所述每個旁路電阻設置在每兩個相鄰的超導納米線之間。
3.根據權利要求1所述的能分辨光子數的超導納米線單光子探測器，其特征在于，所述N為大于等于2的整數。
4.根據權利要求1所述的能分辨光子數的超導納米線單光子探測器，其特征在于，所述N等于4。
5.根據權利要求1所述的能分辨光子數的超導納米線單光子探測器，其特征在于，所述超導納米線為氮化鈮或者是氮化鈮鈦等超導材料制成。
6.根據權利要求1所述的能分辨光子數的超導納米線單光子探測器，其特征在于，所述旁路電阻由金或者是鈦等金屬薄膜制成。
7.制備權利要求1所述的能分辨光子數的超導納米線單光子探測器的方法，其特征在于，包括以下步驟：
第一步，在雙面拋光的藍寶石或者是MgO基片上生長超導薄膜，薄膜厚度在4～6nm；
第二步，設計蜿蜒結構的納米線圖形，然后在薄膜上旋涂電子束抗蝕劑，再用電子束曝光機曝出所需的圖形窗口，最后通過反應離子刻蝕得到所設計的圖形，納米線寬度在50-100nm之間，占空比在30～60％；
第三步，在已有的納米線結構上，繼續進行旋涂電子束抗蝕劑、電子束套刻、金屬薄膜淀積、剝離等步驟，制造片上電阻以及連在器件兩端的電極用于導出信號。
8.根據權利要求7所述的制備能分辨光子數的超導納米線單光子探測器的方法，其特征在于，所述第一步中薄膜厚度在2～8nm之間。
9.根據權利要求7所述的制備能分辨光子數的超導納米線單光子探測器的方法，其特征在于，所述第二步中納米線覆蓋的整體呈正方形。
10.根據權利要求9所述的制備能分辨光子數的超導納米線單光子探測器的方法，其特征在于，所述正方形的邊長為10μm。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于清華大學，未經清華大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110197620.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種高速滾動軸承滑差試驗裝置
- 下一篇：二氧化碳激光波長測量裝置
