[發(fā)明專利]檢測裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110195145.8 | 申請日： | 2011-07-12 |
| 公開（公告）號： | CN102331428A | 公開（公告）日： | 2012-01-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 具昶根 | 申請（專利權(quán)）人： | 韓美半導(dǎo)體株式會社 |
| 主分類號： | G01N21/89 | 分類號： | G01N21/89;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人： | 余剛;吳孟秋 |
| 地址： | 韓國仁*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 檢測 裝置 | ||
1.一種檢測裝置，用于檢測一方向擁有延伸條紋狀的多個鋸痕(SM)的表面上連續(xù)形成的晶片(W)，其特征在于，包括：
一傳輸單元(10)，在一方向中連續(xù)及水平傳送晶片(W)；
一相機(20)，其配置在晶片(W)的傳送路徑，及拍攝由所述傳輸單元(10)傳送的晶片(W)；
一照明單元(30)，其相對于所述相機(20)的配置，且提供光給晶片(W)以拍攝晶片(W)；及
一棱鏡片(40)，其位于所述相機(20)與所述照明單元(30)之間，所述棱鏡片(40)為于一方向擁有延伸條紋狀的多個不平坦圖案(41)的表面上連續(xù)形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述棱鏡片(40)的不平坦圖案(41)延伸方向與晶片(W)的傳輸方向相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢測裝置，其特征在于，所述晶片(W)的鋸痕(SM)與所述棱鏡片(40)的不平坦圖案(41)彼此維持正交。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢測裝置，其特征在于，所述照明單元(30)在光出口表面擁有一半球形透鏡(32)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢測裝置，其特征在于，當(dāng)拍攝晶片(W)時，所述照明單元(30)發(fā)出紅外線光，且所述相機(20)包括一紅外線相機，以拍攝晶片(W)紅外線影像。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述紅外線光的波長為800至2000nm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢測裝置，其特征在于，所述棱鏡片(40)與照明單元(30)分開預(yù)定距離。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于韓美半導(dǎo)體株式會社，未經(jīng)韓美半導(dǎo)體株式會社許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110195145.8/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種訪客機
- 下一篇：基于UWB和CDMA混合定位技術(shù)的定位器
- 同類專利
- 專利分類
G01N 借助于測定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來測試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段，即利用紅外光、可見光或紫外光來測試或分析材料
G01N21-01 .便于進行光學(xué)測試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測試的材料在其中被激發(fā)，因之引起材料發(fā)光或入射光的波長發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng)，測試反應(yīng)的進行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
