[發(fā)明專利]統(tǒng)計(jì)分析方法和襯底處理系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110193896.6
• 申請日: 2011-07-05
• 公開（公告）號: CN102331996A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 淺井一秀
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立國際電氣
• 主分類號: G06F17/30
• 分類號: G06F17/30;H01L21/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華;董典紅

1.一種用于對存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫中的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)執(zhí)行分析處理的統(tǒng)計(jì)分析方法，所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)接收自配置為處理襯底的襯底處理裝置，所述方法包括：

從所述襯底處理裝置接收監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)；

基于所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)產(chǎn)生代表性值數(shù)據(jù)；

將所述代表性值數(shù)據(jù)與指示在產(chǎn)生所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)時(shí)所述襯底處理裝置的狀況的裝置狀況信息相關(guān)聯(lián)；

在所述數(shù)據(jù)庫中存儲(chǔ)所述代表性值數(shù)據(jù)以及與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的所述裝置狀況信息；

從所述數(shù)據(jù)庫獲取所述代表性值數(shù)據(jù)以及與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的所述裝置狀況信息；

將排除參數(shù)與所獲取的裝置狀況信息相比較，所述排除參數(shù)包括指示是否應(yīng)當(dāng)將與所述裝置狀況信息相關(guān)聯(lián)的所述代表性值數(shù)據(jù)包括在統(tǒng)計(jì)分析目標(biāo)中的信息；以及

基于比較結(jié)果確定是否將所獲取的代表性值數(shù)據(jù)包括在所述統(tǒng)計(jì)分析目標(biāo)中。

2.一種襯底處理系統(tǒng)，包括：

襯底處理裝置，配置為處理襯底；以及

群組管理裝置，配置為與所述襯底處理裝置通信，所述群組管理裝置包括：

通信單元，配置為從所述襯底處理裝置接收監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)；

監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)接收模塊，配置為從所述通信單元接收所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，并且進(jìn)一步配置為在存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)所接收的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)；

代表性值產(chǎn)生模塊，配置為獲取存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)單元中的所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，基于所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)產(chǎn)生代表性值數(shù)據(jù)，將所述代表性值數(shù)據(jù)與指示在產(chǎn)生所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)時(shí)所述襯底處理裝置的狀況的裝置狀況信息相關(guān)聯(lián)，以及在所述存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)所述代表性值數(shù)據(jù)以及與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的所述裝置狀況信息；以及

確定模塊，配置為獲取存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)單元中的所述代表性值數(shù)據(jù)以及與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的所述裝置狀況信息，將排除參數(shù)與所獲取的裝置狀況信息相比較，所述排除參數(shù)包括指示是否應(yīng)當(dāng)將與所述裝置狀況信息相關(guān)聯(lián)的所述代表性值數(shù)據(jù)包括在統(tǒng)計(jì)分析目標(biāo)中的信息，以及基于比較結(jié)果確定是否將所獲取的代表性值數(shù)據(jù)包括在所述統(tǒng)計(jì)分析目標(biāo)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的系統(tǒng)，其中所述確定模塊進(jìn)一步配置為基于所述比較結(jié)果將指示是否將所獲取的代表性值數(shù)據(jù)包括在所述統(tǒng)計(jì)分析目標(biāo)中的確定結(jié)果與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)，以及在所述存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的所述確定結(jié)果。

4.一種配置為與襯底處理裝置通信的群組管理裝置，所述襯底處理裝置配置為處理襯底，所述群組管理裝置包括：

通信單元，配置為從所述襯底處理裝置接收監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)；

監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)接收模塊，配置為從所述通信單元接收所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，并且進(jìn)一步配置為在存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)所接收的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)；

代表性值產(chǎn)生模塊，配置為獲取存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)單元中的所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，基于所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)產(chǎn)生代表性值數(shù)據(jù)，將所述代表性值數(shù)據(jù)與指示在產(chǎn)生所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)時(shí)所述襯底處理裝置的狀況的裝置狀況信息相關(guān)聯(lián)，以及在所述存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)所述代表性值數(shù)據(jù)以及與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的所述裝置狀況信息；以及

確定模塊，配置為獲取存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)單元中的代表性值數(shù)據(jù)以及與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的所述裝置狀況信息，將排除參數(shù)與所獲取的裝置狀況信息相比較，所述排除參數(shù)包括指示是否應(yīng)當(dāng)將與所述裝置狀況信息相關(guān)聯(lián)的代表性值數(shù)據(jù)包括在統(tǒng)計(jì)分析目標(biāo)中的信息，以及基于比較結(jié)果確定是否將所獲取的代表性值數(shù)據(jù)包括在所述統(tǒng)計(jì)分析目標(biāo)中。

5.根據(jù)權(quán)利要求4的裝置，其中所述確定模塊進(jìn)一步配置為基于所述比較結(jié)果將指示是否將所獲取的代表性值數(shù)據(jù)包括在所述統(tǒng)計(jì)分析目標(biāo)中的確定結(jié)果與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)，以及在所述存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)與所述代表性值數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的所述確定結(jié)果。