[發(fā)明專利]水基6H-SiC單晶襯底化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110192011.0
• 申請(qǐng)日: 2011-07-11
• 公開（公告）號(hào): CN102337082A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇建修;高虹;鄭素真;洪源;陳錫渠;杜家熙;付素芳;王占合
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南科技學(xué)院
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種水基6H-SiC單晶襯底化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于，其組分與重量百分比如下：

磨料選用納米SiO₂水溶膠或Al₂O₃或納米金剛石微粉之一或其混合物。

2.按照權(quán)利要求1所述化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于：所述的納米SiO₂水溶膠、Al₂O₃及納米金剛石微粉的粒徑是10～250nm。

3.按照權(quán)利要求1所述化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于：所述的分散穩(wěn)定劑為一種高分子表面活性劑，所述分散穩(wěn)定劑為聚乙烯醇、聚丙二醇、壬基酚聚氧乙烯醚中的一種或兩種或三種的混合物，按重量百分比計(jì)，其在拋光液中的總濃度為0.05～15％。

4.按照權(quán)利要求1所述化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于：所述PH值調(diào)節(jié)劑為氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀、乙醇胺、三乙醇胺、異丙醇胺、二羥乙基乙二胺中的一種或兩種以上的混合物，調(diào)節(jié)PH值處于9.5～13.5之間。

5.按照權(quán)利要求1所述化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于：所述的化學(xué)添加劑為1，2-丙二醇、1，3-丙二醇、乙醇胺、三乙醇胺、1，3-丁二醇、過氧化氫中的一種或兩種或三種的混合物。

6.按照權(quán)利要求1所述化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于：所述的潤滑劑為一種球形納米粉末，其粒徑為1～5nm。

7.一種水基6H-SiC單晶襯底化學(xué)機(jī)械拋光液的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)取適量的去離子水與分散穩(wěn)定劑經(jīng)超聲或攪拌成均勻的去離子水混合溶液備用，其中分散穩(wěn)定劑在混合溶液中的重量百分比為：0.01～10％；

(2)按一定比例在上述備用液中加入磨料，經(jīng)超聲或攪拌，分散均勻，磨料選用納米SiO₂水溶膠或Al₂O₃或納米金剛石微粉之一或其混合物；

(3)加入適量的化學(xué)添加劑，經(jīng)超聲或攪拌，分散均勻；

(4)加入適量的潤滑劑，經(jīng)超聲或攪拌，分散均勻；

(5)加入pH值調(diào)節(jié)劑，調(diào)節(jié)pH值，攪拌或超聲，使pH值達(dá)到9.5～13.5，即可制得所需要的拋光液。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的的制備方法，其特征在于，所述pH值調(diào)節(jié)劑是氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀、乙醇胺、三乙醇胺、異丙醇胺、二羥乙基乙二胺的一種或多種。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的的制備方法，其特征在于，所述的納米SiO₂水溶膠、Al₂O₃及納米金剛石微粉的粒徑是10～250nm。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的的制備方法，其特征在于，所述的化學(xué)添加劑為1，2-丙二醇、1，3-丙二醇、乙醇胺、三乙醇胺、1，3-丁二醇、過氧化氫中的一種或兩種或三種的混合物。