[發(fā)明專利]固體攝像元件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110190932.3
• 申請日: 2011-07-01
• 公開（公告）號: CN102316279A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 成井禎
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社尼康
• 主分類號: H04N5/335
• 分類號: H04N5/335;H01L27/146
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 蘇卉;車文

本申請基于2010年7月2日提出的日本特愿2010-152510，并主張此優(yōu)先權(quán)，上述申請的內(nèi)容被援引到本申請中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種固體攝像元件。

背景技術(shù)

日本特表2008-546313號公報公開了具有以下部件的固體攝像元件：多個像素，至少兩個像素分別包括：(a)光敏器、(b)形成浮地電容部的電荷電壓變換區(qū)域及(c)對放大器的輸入部；連接晶體管，其形成選擇性連接上述電荷電壓變換區(qū)域之間的開關(guān)。

根據(jù)該現(xiàn)有的固體攝像元件，通過接通上述連接晶體管，可進行混合上述至少兩個像素的光敏器的電荷并讀出的像素混合(電荷疇像素合并)。并且，通過斷開上述連接晶體管，和不具有上述連接晶體管的普通的固體攝像元件一樣，可不混合上述至少兩個像素的光敏器的電荷而讀出。

本發(fā)明人的研究結(jié)果表明，在上述現(xiàn)有的固體攝像元件中，因經(jīng)由斷開的上述連接晶體管的泄漏電流的產(chǎn)生，所拍攝的圖像的畫質(zhì)下降。即，表明：在上述現(xiàn)有的固體攝像元件中，當(dāng)斷開上述連接晶體管時，應(yīng)被上述連接晶體管屏蔽的鄰接像素的電荷—電壓變換區(qū)域的電荷，經(jīng)由上述連接晶體管作為泄漏電流流入到要讀出信號的像素的電荷—電壓變換區(qū)域，結(jié)果因該泄漏電流產(chǎn)生圖像的過白、噪聲，畫質(zhì)下降。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，在具有對浮地電容部之間進行接通、斷開的連接晶體管的固體攝像元件中，提高畫質(zhì)。

本發(fā)明涉及的一個方式中的固體攝像元件具有：多個像素，其具有生成并存儲與入射光對應(yīng)的電荷的光電變換部、接收上述電荷并將上述電荷變換為電壓的電荷電壓變換部、輸出與上述電荷電壓變換部的電壓對應(yīng)的信號的輸出部、從上述光電變換部向上述電荷電壓變換部傳送電荷的傳送部及重置上述電荷電壓變換部的電位的重置晶體管；連接晶體管，對上述多個像素中的至少一個像素的上述電荷電壓變換部及上述多個像素中的其他至少一個像素的上述電荷電壓變換部之間進行接通、斷開；上述連接晶體管的閾值電壓比上述重置晶體管的閾值電壓高。

在上述方式中，上述連接晶體管的雜質(zhì)濃度比上述重置晶體管的雜質(zhì)濃度高。

在上述方式中，上述連接晶體管的溝道寬度比上述重置晶體管的溝道寬度窄。

在上述方式中，上述連接晶體管的溝道長度比上述重置晶體管的溝道長度長。

在上述方式中，上述連接晶體管的柵極氧化膜比上述重置晶體管的柵極氧化膜厚。

在上述方式中，具有控制部，向上述連接晶體管的柵極施加接通電壓及斷開電壓，并且向上述重置晶體管的柵極施加接通電壓及斷開電壓；施加到上述連接晶體管的柵極的上述接通電壓與上述斷開電壓之間的電位差絕對值不同于施加到上述重置晶體管的柵極的上述接通電壓與上述斷開電壓之間的電位差絕對值。

本發(fā)明涉及的其他方式的固體攝像元件具有：多個像素，其分別具有生成并存儲與入射光對應(yīng)的電荷的光電變換部、接收上述電荷并將上述電荷變換為電壓的電荷電壓變換部、輸出與上述電荷電壓變換部的電位對應(yīng)的信號的輸出部、從上述光電變換部向上述電荷電壓變換部傳送電荷的傳送部及重置上述電荷電壓變換部的電位的重置晶體管；連接晶體管，對上述多個像素中的至少一個像素的上述電荷電壓變換部及上述多個像素中的其他至少一個像素的上述電荷電壓變換部之間進行接通、斷開；控制部，向上述連接晶體管的柵極施加接通電壓及斷開電壓，并且向上述重置晶體管的柵極施加接通電壓及斷開電壓；施加到上述連接晶體管的柵極的上述接通電壓與上述斷開電壓之間的電位差絕對值不同于施加到上述重置晶體管的柵極的上述接通電壓與上述斷開電壓之間的電位差絕對值。

在上述方式中，上述電荷電壓變換部、上述輸出部及上述重置晶體管按上述多個像素中的2個以上的規(guī)定個數(shù)的像素共有，上述至少一個像素和上述其他至少一個像素不共有上述電荷電壓變換部、上述輸出部及上述重置晶體管。

根據(jù)本發(fā)明的方式，在具有對浮地電容部之間進行接通、斷開的連接晶體管的固體攝像元件中，可提高畫質(zhì)。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的第1實施方式的固體攝像元件的概要構(gòu)成的電路圖。

圖2是表示圖1所示的固體攝像元件的一部分的概要示意平面圖。

圖3是沿著圖2的A-A’線的概要截面圖。

圖4是表示本發(fā)明的第2實施方式的固體攝像元件的一部分的概要示意平面圖。

圖5是表示本發(fā)明的第3實施方式的固體攝像元件的一部分的概要示意平面圖。

圖6是表示本發(fā)明的第4實施方式的固體攝像元件的一部分的概要示意平面圖。

具體實施方式