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[發(fā)明專利]可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法無效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201110190744.0 申請(qǐng)日: 2011-07-08
公開(公告)號(hào): CN102861991A 公開(公告)日: 2013-01-09
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳宏昌;劉幼海;劉吉人 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
主分類號(hào): B23K26/36 分類號(hào): B23K26/36;B23K26/16;H01L31/18
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 201707 上海市青*** 國(guó)省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 提升 單晶硅 太陽能電池 效率 激光 脈沖 形成 晶片 表面 粗糙 結(jié)構(gòu) 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法。此技術(shù)包括單晶硅晶片、矽晶片載具、綠光脈沖型激光器、脈沖型激光器定位平臺(tái)、粉塵排氣孔、排氣管路與幫浦,其方法系將硅晶片移動(dòng)至硅晶片載具,綠光脈沖型激光器開啟并在硅晶片上蝕刻出粗糙結(jié)構(gòu)化的凹槽,接著綠光脈沖型激光器將硅晶片整面蝕刻完成,在過程中持續(xù)以幫浦系統(tǒng)將硅晶片粉塵去除。本發(fā)明可以綠光激光脈沖將單晶硅太陽電池表面粗糙結(jié)構(gòu)化,藉此減少入射光的損失,提升單晶硅太陽能電池的效率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法,其中該綠光脈沖型激光器的中心波長(zhǎng)為綠光,系產(chǎn)生脈沖的來源,其中能量強(qiáng)度為可調(diào)動(dòng)式,藉由調(diào)整適當(dāng)?shù)哪芰繌?qiáng)度提供脈沖能量將硅晶片蝕刻出凹槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法,其中綠光脈沖型激光器與脈沖型激光器平臺(tái)連結(jié),定位平臺(tái)控制激光器的移動(dòng)與位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法,其中粉塵排氣孔與排氣管路連結(jié),藉由幫浦能將粉塵排除。

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