[發(fā)明專利]可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110190744.0 | 申請(qǐng)日: | 2011-07-08 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102861991A | 公開(公告)日: | 2013-01-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳宏昌;劉幼海;劉吉人 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分類號(hào): | B23K26/36 | 分類號(hào): | B23K26/36;B23K26/16;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201707 上海市青*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 提升 單晶硅 太陽能電池 效率 激光 脈沖 形成 晶片 表面 粗糙 結(jié)構(gòu) 方法 | ||
1.一種可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法。此技術(shù)包括單晶硅晶片、矽晶片載具、綠光脈沖型激光器、脈沖型激光器定位平臺(tái)、粉塵排氣孔、排氣管路與幫浦,其方法系將硅晶片移動(dòng)至硅晶片載具,綠光脈沖型激光器開啟并在硅晶片上蝕刻出粗糙結(jié)構(gòu)化的凹槽,接著綠光脈沖型激光器將硅晶片整面蝕刻完成,在過程中持續(xù)以幫浦系統(tǒng)將硅晶片粉塵去除。本發(fā)明可以綠光激光脈沖將單晶硅太陽電池表面粗糙結(jié)構(gòu)化,藉此減少入射光的損失,提升單晶硅太陽能電池的效率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法,其中該綠光脈沖型激光器的中心波長(zhǎng)為綠光,系產(chǎn)生脈沖的來源,其中能量強(qiáng)度為可調(diào)動(dòng)式,藉由調(diào)整適當(dāng)?shù)哪芰繌?qiáng)度提供脈沖能量將硅晶片蝕刻出凹槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法,其中綠光脈沖型激光器與脈沖型激光器平臺(tái)連結(jié),定位平臺(tái)控制激光器的移動(dòng)與位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可提升單晶硅太陽能電池效率的綠光激光脈沖形成硅晶片表面粗糙結(jié)構(gòu)化的方法,其中粉塵排氣孔與排氣管路連結(jié),藉由幫浦能將粉塵排除。
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B23K 釬焊或脫焊;焊接;用釬焊或焊接方法包覆或鍍敷;局部加熱切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26-00 用激光束加工,例如焊接,切割,打孔
B23K26-02 .工件的定位和觀測(cè),如相對(duì)于沖擊點(diǎn),激光束的對(duì)正,瞄準(zhǔn)或聚焦
B23K26-08 .激光束與工件具有相對(duì)運(yùn)動(dòng)的裝置
B23K26-12 .在一特殊氣氛中,例如在罩中
B23K26-14 .利用流體,如氣體的射流,與激光束相結(jié)合
B23K26-16 .排除副產(chǎn)物,例如對(duì)工件處理時(shí)產(chǎn)生的微粒或蒸氣





