[發明專利]一種放大質量塊運動速度的電容式微機械陀螺

無效

• 申請號: 201110189840.3
• 申請日: 2011-07-07
• 公開（公告）號: CN102288172A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 常洪龍;李小卿;焦文龍;苑偉政;丁繼亮
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 呂湘連

1.一種放大質量塊運動速度的電容式微機械陀螺，包括質量塊(11)；以質量塊(11)中心為原點，與質量塊一邊平行的方向為X方向，與另一方向平行的方向為Y方向，本發明提出的放大質量塊運動速度的電容式微機械陀螺在X方向上關于Y軸對稱，在Y軸方向上關于X軸對稱；

所述質量塊(11)通過連在其X方向側邊的折疊梁Ⅱ(13)與敏感梳齒梁(12)連接，敏感梳齒梁(12)通過兩端的折疊梁Ⅰ(10)連接在錨點上；固定在敏感梳齒梁(12)上的動梳齒與固定在敏感檢測電極(15)上的靜梳齒構成敏感檢測梳齒對(14)，以完成敏感方向的電容檢測；

在Y方向側邊上，質量塊(11)通過折疊梁Ⅱ(13)與平行于質量塊Y向側邊的杠桿(3)連接，所述疊梁Ⅱ(13)與杠桿(3)的連接點稱為第二驅動傳遞點；兩根杠桿支點梁(2)將所述杠桿(3)連接在錨點上，杠桿支點梁(2)和杠桿(3)的連接點稱為支點；同時杠桿(3)還分別通過兩根驅動傳遞梁(1)與驅動梳齒梁(6)連接，所述杠桿(3)與驅動傳遞梁(1)的連接點稱為第一驅動傳遞點；必須滿足：支點離第一驅動傳遞點的距離d1小于支點離第二驅動傳遞點的距離d2；同時驅動梳齒梁(6)的兩個端點通過折疊梁Ⅰ(10)連接在錨點上；固定在驅動梳齒梁(6)的驅動梳齒與固定在驅動電極(7)上的驅動靜梳齒構成驅動梳齒對(8)，以完成驅動；固定在驅動梳齒梁(6)的驅動檢測梳齒與固定在驅動檢測電極(4)上的驅動檢測靜梳齒構成驅動檢測梳齒對(8)，以完成驅動方向的電容檢測。