[發明專利]單晶生長爐隔離閥腔體有效
| 申請號: | 201110187811.3 | 申請日: | 2011-07-06 |
| 公開(公告)號: | CN102268725A | 公開(公告)日: | 2011-12-07 |
| 發明(設計)人: | 王朝定 | 申請(專利權)人: | 杭州風正電子科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人: | 張法高 |
| 地址: | 310030 浙江省杭州市*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 生長 隔離 閥腔體 | ||
1.?一種單晶生長爐隔離閥腔體,其特征在于包括上法蘭(1)、下法蘭(2)、觀察窗(3)、閥口法蘭(4)、閥口接管(5)、方形內膽(6)、半圓內膽(7)、方形外殼(8)、半圓外殼(9)、水圈(10)、長塞堵(11)、短塞堵(12)、蓋板(13)、隔水塊(14)、隔水條(15)、分水條(16)、出水管(17)、進水接頭(18)、卸壓閥(19)、真空接頭(20)、視口法蘭(21)、頸內管(22)、頸外管(23);方形內膽(6)和半圓內膽(7)縱向焊接成筒狀,形成腔體內膽,方形外殼(8)和半圓外殼(9)縱向焊接成筒狀,形成腔體外殼,腔體內膽套在腔體外殼內,并焊在上法蘭(1)和下法蘭(2)之間,在腔體的兩側面焊有兩個觀察窗(3),在腔體的直角處焊有閥口接管(5),閥口接管(5)上裝有閥口法蘭(4),在腔體的前部中間位裝有頸內管(22)、頸外管(23)、視口法蘭(21),頸內管(22)焊在半圓內膽(7)上,頸外管(23)焊在半圓外殼(8)上,視口法蘭(21)焊在頸內管(22)和頸外管(23)的平齊端面上,出水管(17)接在上法蘭上的出水口(F)處,進水接頭(18)焊在方形外殼(8)的下部,泄壓閥(19)裝在方形外殼(8)的上部,真空接頭(20)在腔體背面的中間部位,穿過方形外殼(8)和方形內膽(6),與腔體內腔相通,在腔體內膽和腔體外殼之間焊有隔水條(15)和分水條(16),形成螺旋形水道,在上法蘭(1)的內圈槽口焊有水圈(10),在水圈(10)與上法蘭(1)的內槽組成的空腔中焊有隔水塊(14),在上法蘭(1)的三個側面的孔中裝有長塞堵(11)、短塞堵(12)和蓋板(13)。
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