[發明專利]一種真空絕熱板高真空封裝裝置

無效

• 申請號: 201110187335.5
• 申請日: 2011-07-06
• 公開（公告）號: CN102278570A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 周介明;陳照峰;邱金蓮;陳舟;徐滕州
• 申請（專利權）人: 蘇州維艾普新材料有限公司
• 主分類號: F16L59/065
• 分類號: F16L59/065
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種真空絕熱板高真空封裝裝置，其特征在于：它包括：一個封裝真空室（1），一個進氣閥（3），一個一級泵（8），一個二級泵（7），一個三級泵（6）和三個真空閥；所述三個真空閥分別為：真空閥A（2）、真空閥B（4）、和真空閥C（5）；所述封裝真空室（1）內還設有真空計和高真空規管；所述高真空規管與真空計連接；

所述真空閥A（2）與三級泵（6）、封裝真空室（1）、真空閥B（4）連接；所述真空閥C（5）與三級泵（6）、二級泵（7）連接；所述真空閥B（4）與真空閥A（2）、二級泵（7）連接；所述一級泵（8）與二級泵（7）連接；所述進氣閥（3）位于真空閥B（4）與封裝真空室（1）之間的任意位置。

2.根據權利權利要求1所述的一種真空絕熱板高真空封裝裝置，其特征在于：所述一級泵（8）為：旋片泵，或水環泵，或往復式真空泵。

3.根據權利權利要求1所述的一種真空絕熱板高真空封裝裝置，其特征在于：所述二級泵（7）為：羅茨泵，或旋片泵，或滑閥真空泵。

4.根據權利權利要求1所述的一種真空絕熱板高真空封裝裝置，其特征在于：所述三級泵（6）為：擴散泵，或分子泵。