[發(fā)明專利]一種帶狀束流離子源電源控制系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110186473.1
• 申請日: 2011-07-05
• 公開（公告）號: CN102867721A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張繼恒;唐景庭;孫勇
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/302
• 分類號: H01J37/302;H01J37/317
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種帶狀束流離子源電源控制系統(tǒng)，尤其的涉及離子注入機，屬于半導體器件制造設(shè)備領(lǐng)域。

背景技術(shù)

離子源是離子注入機的一個重要部件，其作用在于使需要注入的物質(zhì)(如硼、磷、砷)的原子電離成為離子，其性能好壞對整機的性能影響極大，尤其對束流的強度、品質(zhì)、束流能量及整機注入的穩(wěn)定性有著決定性的影響。離子源的性能，除與本身的結(jié)構(gòu)設(shè)計有關(guān)外，還與使氣體電離產(chǎn)生離子的燈絲電源、偏壓電源和弧壓電源有極大關(guān)系。對這幾個電源的控制是離子源能產(chǎn)生所需離子的關(guān)鍵。帶裝束流離子源要求從離子源發(fā)出的離子束具有較大的寬度，本專利所涉及的離子源束流寬度超過了300mm，為了使離子源產(chǎn)生較為均勻的束流，滿足集成電路工藝和生產(chǎn)的要求，必須保證離子源電源控制系統(tǒng)的穩(wěn)定和高效。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明即是針對上述要求而提出的一種結(jié)構(gòu)簡單、可靠性高的帶狀束流離子源電源控制系統(tǒng)。

本發(fā)明通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：

一種帶狀束流離子源電源控制系統(tǒng)，包括：主控計算機(1)、光纖通信控制卡(2)、I/O信號控制器(3)、燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)。所述的光纖通信控制卡(2)插在主控計算機(1)的PCI插槽上，光纖通信控制卡(2)和I/O信號控制器(3)之間通過光纖連接傳輸數(shù)據(jù)。燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)的控制端分別和遠程I/O信號板(3)的信號端連接，同時這三種電源的電源輸出端分別和離子源燈絲(7)、離子源陰極(8)和弧室壁(9)相連。

本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點：

1.I/O信號控制器(3)到內(nèi)光纖通信控制卡(2)之間的連接使用光纖，有效的防止了離子源打火對信號傳輸?shù)母蓴_。

2.使用兩個燈絲電源(4)和兩個偏壓電源(5)，分別加在離子源兩個燈絲(7)和陰極(8)上，這種連接方便對兩個燈絲所加電源的獨立控制，有利于在弧室兩端產(chǎn)生較寬的均勻離子束流。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。

圖1為一種帶狀束流離子源電源控制系統(tǒng)的原理框圖；

圖2為一種帶狀束流離子源電源控制系統(tǒng)的離子源電源連接示意圖。

具體實施方式

如參考圖1所示，一種帶狀束流離子源電源控制系統(tǒng)，包括：主控計算機(1)、光纖通信控制卡(2)、I/O信號控制器(3)、燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)。光纖通信控制卡2插在主控計算機(1)的PCI插槽上，光纖通信控制卡(2)和I/O信號控制器(3)之間通過光纖連接傳輸數(shù)據(jù)。光纖通訊控制卡(2)將主控計算機(1)發(fā)出的命令數(shù)據(jù)通過光纖傳輸?shù)絀/O信號控制器(3)，I/O信號控制器(3)將接收到的光信號轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)過地址確認，發(fā)送給燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)的控制端，從而設(shè)定這五個電源的輸出電流或是電壓。同時，這五個電源的電流或是電壓反饋值也從各自的控制端通過I/O信號控制器(3)傳送給光纖通信控制卡(2)，從而主控計算機(1)能夠讀取這些反饋值。

如參考圖2所示，為離子源電源連接示意圖，因為要產(chǎn)生的離子是正離子，所以偏壓電源(5)的正極接在離子源陰極上，負極和離子源燈絲(7)相連，而弧壓電源(6)的正極和離子源弧室壁(8)等電位。

以上所述已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應(yīng)的法律責任。