[發(fā)明專利]位置測(cè)量系統(tǒng)和裝配方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110186200.7
• 申請(qǐng)日: 2011-07-05
• 公開（公告）號(hào): CN102313528A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: W.普歇爾;M.屈勒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/00
• 分類號(hào): G01B21/00;G01B21/22;G01B11/00;G01B11/26
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李永波;楊國(guó)治

1.一種位置測(cè)量系統(tǒng)，用于沿著測(cè)量方向（W）測(cè)量第一機(jī)器部件（8）相對(duì)于第二機(jī)器部件（9）的相對(duì)位置，具有：

-?測(cè)量分度器（1）的支架（11），該支架可裝配在第一機(jī)器部件（8）上；

-?用于掃描測(cè)量分度器（1）的探測(cè)頭（2），該探測(cè)頭可裝配在第二機(jī)器部件（9）上；

-?裝配輔助機(jī)構(gòu)（3），利用該裝配輔助機(jī)構(gòu)將測(cè)量分度器（1）的支架（11）在裝配位置固定在探測(cè)頭（2）上，從而測(cè)量分度器（1）的支架（11）和探測(cè)頭（2）可作為共同的單元來操作，且可在這種配設(shè)情況下裝配在機(jī)器部件（8、9）上；

其特征在于，裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）具有：

????-?第一區(qū)段（31），該第一區(qū)段在裝置時(shí)位置固定地，而在進(jìn)行裝配之后則可松開地固定在測(cè)量分度器（1）的支架（11）上；和

????-?第二區(qū)段（33），該第二區(qū)段在裝置時(shí)位置固定地，而在進(jìn)行裝配之后則可松開地固定在探測(cè)頭（2）上；和

????-?在第一區(qū)段（31）與第二區(qū)段（33）之間的至少一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（4、5），所述調(diào)節(jié)裝置經(jīng)過構(gòu)造，使得可在至少一個(gè)自由度（X、Y）上調(diào)整測(cè)量分度器（1）的支架（11）相對(duì)于探測(cè)頭（2）的裝配位置，所述自由度不同于測(cè)量方向（W）。

2.如權(quán)利要求1所述的位置測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，至少一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（4、5）經(jīng)過構(gòu)造，使得能進(jìn)行直線的移調(diào)運(yùn)動(dòng)（X、Y）。

3.如權(quán)利要求2所述的位置測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，至少一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（4、5）具有由多個(gè)可轉(zhuǎn)向的轉(zhuǎn)向器（42~45、52~55、46~49）構(gòu)成的總成和移調(diào)部件（41、51）。

4.如權(quán)利要求3所述的位置測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，轉(zhuǎn)向器（42~45、52~55、46~49）相對(duì)于直線的移調(diào)運(yùn)動(dòng)（X、Y）的方向鏡像對(duì)稱地布置，其中設(shè)置至少四個(gè)轉(zhuǎn)向器（42~45、52~55、46~49）。

5.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的位置測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，在第一區(qū)段（31）與第二區(qū)段（33）之間設(shè)置有多個(gè)調(diào)節(jié)裝置（4、5），從而可在多個(gè)自由度（X、Y）上相互獨(dú)立地調(diào)整測(cè)量分度器（1）的支架（11）相對(duì)于探測(cè)頭（2）的裝配位置。

6.如權(quán)利要求5所述的位置測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（5）設(shè)置在第一區(qū)段（31）與裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）的基體（6）之間，用于在一個(gè)自由度（Y）上進(jìn)行調(diào)整，另一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（4）設(shè)置在裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）的基體（6）與第二區(qū)段（33）之間，用于在第二自由度（X）上進(jìn)行調(diào)整。

7.如權(quán)利要求6所述的位置測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，利用一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（5），第一區(qū)段（31）在第一直線的自由度（Y）上可調(diào)整地與基體（6）連接，利用另一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（4），第二區(qū)段（33）在另一直線的自由度（X）上可調(diào)整地與基體（6）連接。

8.如前述權(quán)利要求5至7中任一項(xiàng)所述的位置測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，測(cè)量分度器（1）是用于在旋轉(zhuǎn)的測(cè)量方向（W）上圍繞旋轉(zhuǎn)軸線（D）進(jìn)行位置測(cè)量的徑向分度器，利用一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（4）來實(shí)現(xiàn)在徑向上進(jìn)行直線的移調(diào)運(yùn)動(dòng)（X），利用另一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（5）來實(shí)現(xiàn)與測(cè)量方向（W）相切地進(jìn)行直線的移調(diào)運(yùn)動(dòng)（Y）。

9.一種用于將測(cè)量分度器（1）的支架（11）和位置測(cè)量系統(tǒng)的探測(cè)頭（2）裝配在兩個(gè)機(jī)器部件（8、9）上的方法，可在測(cè)量方向（W）上測(cè)量所述兩個(gè)機(jī)器部件的相對(duì)位置，其中在裝配時(shí)使得測(cè)量分度器（1）的支架（11）在裝配位置配屬于探測(cè)頭（2），其特征在于如下方法步驟：

-?將測(cè)量分度器（1）的支架（11）位置固定地固定在裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）的第一區(qū)段（31）上，且將探測(cè)頭（2）位置固定地固定在裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）的第二區(qū)段（33）上；

-?利用至少一個(gè)整合在裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）中的調(diào)節(jié)裝置（4、5），在不同于測(cè)量方向（W）的至少一個(gè)自由度（X、Y）上，相對(duì)于第二區(qū)段（33）移調(diào)第一區(qū)段（31）的位置，由此調(diào)整裝配位置；

-?在裝配位置，將測(cè)量分度器（1）的支架（11）位置固定地固定在一個(gè)機(jī)器部件（8）上，且將探測(cè)頭（2）位置固定地固定在另一個(gè)機(jī)器部件（9）上；

-?從裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）的第一區(qū)段（31）松開對(duì)測(cè)量分度器（1）的支架（11）的固定，并裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）的第二區(qū)段（33）松開對(duì)探測(cè)頭（8）的固定，由此取下裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）。

10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，利用裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）的多個(gè)調(diào)節(jié)裝置（4、5）來調(diào)整裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）的第一區(qū)段（31）相對(duì)于裝配輔助機(jī)構(gòu)（3）的第二區(qū)段（33）的位置，其中利用一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（4）在第一自由度（X）上進(jìn)行調(diào)整，與此無關(guān)地，利用另一個(gè)調(diào)節(jié)裝置（5）在第二自由度（Y）上進(jìn)行調(diào)整。