[發明專利]一種測量晶體位置的裝置

無效

• 申請號: 201110185340.2
• 申請日: 2011-07-04
• 公開（公告）號: CN102252593A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 徐敬;周世才
• 申請（專利權）人: 江蘇金泰隆機電設備制造廠
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及晶體生長領域，具體涉及一種測量籽晶熔化面和晶體生長面位置的裝置。

背景技術

在晶體的生長過程中，籽晶的融化程度、晶體大小以及生長速度對晶體生長工藝至關重要。目前在從坩堝底部開始生長晶體的各種工藝中，準確測量籽晶融化程度、晶體大小以及生長速度等問題未能得到有效解決，一般僅憑借經驗來估計相關數據，顯然所得到的數據并不準確，這對晶體的生長過程產生了不利影響。

發明內容

為了克服現有技術中從坩堝底部開始生長的晶體在生長過程中難以準確測量晶體位置的問題，本發明的目的在于提供一種結構簡單、緊湊，能實時準確測量晶體生長過程中的裝置。

本發明的技術方案是：一種測量晶體位置的裝置，其技術特點是包括至少一直線導軌、在直線導軌上滑動的滑動體、至少一密封管，所述滑動體上設有至少一磁體，所述密封管內腔設有至少一與所述磁體同步移動的移動體，所述移動體與至少一測量桿連接。

所述磁體與移動體為相吸或相斥作用狀態。

所述直線導軌與測量桿平行方向設有一標尺。

所述密封管為石英管或陶瓷管或不銹鋼管。

所述測量桿為鉬桿或鎢桿。

所述移動體為磁體或鐵或鎳。

本裝置安裝于爐體上部，其密封管內腔與爐體內腔連通，且必要時測量桿下端可與晶體接觸。當籽晶開始熔化或晶體由籽晶外表面開始生長時，爐體內坩堝底部籽晶上表面下降或晶體生長面上升使與之接觸的測量桿下降或上升，測量桿頂部移動體的位置同步下降或上升，由于磁力的作用，滑動體上的磁體的位置隨移動體相應下降或上升，進而使得與磁體固連的滑動體的位置沿直線導軌方向下降或上升，此時通過標尺刻度與基準刻度比對，從而測量晶體熔化程度或晶體生長高度。

本發明密封管內腔為真空狀態，與晶體生長環境一致，且密封管優選透明石英管，以便于觀察密封管內移動體帶動測量桿的移動情況；移動體的材料可為磁性材料或鐵或鎳，所述磁體與移動體間為相吸或相斥作用狀態，以保證移動體隨著固連在滑動體上的磁體上下運動而同步移動；測量桿優選耐高溫的鉬桿或鎢桿，以適應晶體生長環境，確保使用安全、壽命長。

本發明的測量晶體位置的裝置，能夠準確測量從坩堝底部生長晶體的各種工藝中籽晶或晶體位置，這對從坩堝底部生長晶體的工藝提供了重要參考。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為圖1的旋轉視圖；

圖3為圖1的俯視圖。

圖中：法蘭1，固定板2，直線導軌3，上夾板4，下夾板5，磁體6，密封管7，移動體8，測量桿9，標尺10。

具體實施方式

圖1-3中，一種測量晶體位置的裝置包括法蘭1、固定板2、直線導軌3、上夾板4、下夾板5、磁體6、密封管7、移動體8、測量桿9和標尺10。法蘭1與坩堝爐體封頭連接，三根直線導軌3沿圓周方向布置，三根直線導軌的底部均安裝于法蘭1上，三根直線導軌的頂部連接固定板2將三根直線導軌連成一整體結構，保證直線導軌的垂直度和強度；三根直線導軌3上分別套裝一滑動體，滑動體包括上夾板4和下夾板5，上夾板活動套接于直線導軌3上，下夾板經直線軸承活動套接于直線導軌上，上、下夾板間設有磁體6；密封管7密封固定于直線導軌3底端的法蘭1上，密封管采用石英管或銅管或不銹鋼管，優選石英管，以隨時直觀觀察管體內腔滑動體和測量桿的動態；密封管7內腔安裝一耐高溫的測量桿9，測量桿為耐高溫桿，優選鉬桿或鎢桿，測量桿的頂端或中上部連接一移動體8，移動體8與磁體6水平位置對應，移動體的材料優選磁性材料或鐵或鎳，移動體8與磁體6形成相吸或相斥作用力，使測量桿懸在密封管內腔并隨磁體帶動移動體的上下滑動而上下運動；直線導軌或密封管或固定板或法蘭或爐體上連接標尺10，優選設于固定板上。??

上述實施例只是為了說明本發明的技術構思及特點，其目的是在于讓本領域內的普通技術人員能夠了解本發明的內容并據以實施，并不能以此限制本發明的保護范圍。凡是根據本發明內容的實質所作出的等效的變化或修飾，都應涵蓋在本發明的保護范圍內。