[發(fā)明專利]半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)以及有機(jī)電致發(fā)光元件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110184742.0
• 申請(qǐng)日: 2011-06-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102244090A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張志榜;謝信弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L29/00
• 分類號(hào): H01L29/00;H01L29/78;H01L51/50
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;鮑俊萍

1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，設(shè)置于一基板上，其特征在于，包括：

一柵極，配置于該基板上；

一柵絕緣層，配置于該基板上，并且覆蓋該柵極；

一通道層，位于該柵絕緣層上，且位于該柵極上方，該通道層沿一通道方向上，具有一通道長(zhǎng)度L，該通道層具有一第一側(cè)邊，以及一第二側(cè)邊相對(duì)于該第一側(cè)邊；

一源極以及一漏極，位于該通道層的相對(duì)兩側(cè)，且分別電性連接該通道層的該第一側(cè)邊與該第二側(cè)邊；

一介電層，覆蓋該源極、該漏極以及該通道層；以及

一導(dǎo)電遮光圖案層，配置于該介電層上，該導(dǎo)電遮光圖案層跟部份該源極與該通道層在垂直投影上重迭，其中該導(dǎo)電遮光圖案層跟該通道層具有一重迭長(zhǎng)度d1，且0.3≤d1/L≤0.85。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其特征在于，該通道層的材質(zhì)包括氧化物半導(dǎo)體。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其特征在于，該氧化物半導(dǎo)體包括銦鎵鋅氧化物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其特征在于，該導(dǎo)電遮光圖案層沿該通道方向具有一第三側(cè)邊與一第四側(cè)邊，該第四側(cè)邊跟該通道層在垂直投影上重迭，其中該重迭長(zhǎng)度d1等于該第四側(cè)邊跟該通道層的第一側(cè)邊在該通道方向上的距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其特征在于，該通道層覆蓋部分的該源極以及部分的該漏極。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其特征在于，該源極以及該漏極分別覆蓋部分的該通道層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，更包括一蝕刻阻擋層，配置于該通道層上，且該源極以及該漏極更分別覆蓋部分的該蝕刻阻擋層。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其特征在于，該漏極沿該通道方向具有一第五側(cè)邊，其中該第五側(cè)邊跟該通道層重迭，且該第五側(cè)邊與該第二側(cè)邊在該通道方向上相距t1，且0＜t1/L＜0.15。

9.一種有機(jī)電致發(fā)光元件，設(shè)置于一基板上，其特征在于，包括：

一柵極，配置于該基板上；

一柵絕緣層，配置于該基板上，并且覆蓋該柵極；

一通道層，位于該柵絕緣層上，且位于該柵極上方，該通道層沿一通道方向上，具有一通道長(zhǎng)度L，該通道層具有一第一側(cè)邊，以及一第二側(cè)邊相對(duì)于該第一側(cè)邊；

一源極以及一漏極，位于該通道層的相對(duì)兩側(cè)，且分別電性連接該通道層的該第一側(cè)邊與該第二側(cè)邊；

一介電層，覆蓋該源極、該漏極以及該通道層；

一導(dǎo)電遮光圖案層，配置于該介電層上，該導(dǎo)電遮光圖案層跟部份該源極與該通道層在垂直投影上重迭，其中該導(dǎo)電遮光圖案層跟該通道層具有一重迭長(zhǎng)度d1，且0.3≤d1/L≤0.85；

一有機(jī)發(fā)光層，配置于該導(dǎo)電遮光圖案層上；以及

一上電極，配置于該有機(jī)發(fā)光層上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，該通道層的材質(zhì)包括氧化物半導(dǎo)體。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，該氧化物半導(dǎo)體包括銦鎵鋅氧化物。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，該導(dǎo)電遮光圖案層沿該通道方向具有一第三側(cè)邊與一第四側(cè)邊，該第四側(cè)邊跟該通道層重迭，其中該重迭長(zhǎng)度等于該第四側(cè)邊跟該通道層的第一側(cè)邊在該通道方向上的距離。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，該通道層覆蓋部分的該源極以及部分的該漏極。

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，該源極以及該漏極分別覆蓋部分的該通道層。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，更包括一蝕刻阻擋層，配置于該通道層上，且該源極以及該漏極更分別覆蓋部分的該蝕刻阻擋層。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，該漏極沿該通道方向具有一第五側(cè)邊，其中該第五側(cè)邊跟該通道層重迭，且該第五側(cè)邊與該第二側(cè)邊在該通道方向上相距t1，且0＜t1/L＜0.15。