[發明專利]光刻機調焦調平機構以及光刻機調平機構

有效

• 申請號: 201110182278.1
• 申請日: 2011-06-30
• 公開（公告）號: CN102854751A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 王大志;何凱;杜如虛
• 申請（專利權）人: 中國科學院深圳先進技術研究院
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種光刻機調焦調平機構，其特征在于，包括

底座；

壓電陶瓷驅動器組件，包括固定連接的壓電陶瓷驅動器與球頭支承，所述壓電陶瓷驅動器組件的數量為三個，所述壓電陶瓷驅動器固定于所述底座上，三個所述壓電陶瓷驅動器組件呈直角三角形配置；

承載臺組件，包括承載臺，所述承載臺組件設有用于容置第一球頭支承的弧形槽、用于容置第二球頭支承的條狀槽和用于容置第三球頭支承的平面凸臺，且弧形槽、條狀槽和平面凸臺呈直角三角形配置；

拉簧組件，與所述底座和承載臺固定連接，用于實現承載臺和底座的力封閉。

2.根據權利要求1所述的光刻機調焦調平機構，其特征在于，所述直角三角形為等腰直角三角形，且直角為所述弧形槽所對應的角。

3.根據權利要求1所述的光刻機調焦調平機構，其特征在于，所述弧形槽為錐孔或圓孔，所述條狀槽的截面為V形或圓弧形，且條狀槽的槽向與其所在的直角邊方向相同，所述承載臺上設置平面凸臺用于容置所述第三球頭。

4.根據權利要求1所述的光刻機調焦調平機構，其特征在于，所述拉簧組件包括相互連接的拉簧和拉桿組件，所述拉桿組件的數量為兩個且分別設置于拉簧的一端，所述拉桿組件包括軸承座、關節軸承以及螺紋拉桿，所述關節軸承設于軸承座內，連接所述關節軸承和螺紋拉桿，所述軸承座設有開口，所述螺紋拉桿從所述開口伸出軸承座與所述拉簧連接，所述拉桿組件中的第一拉桿組件與底座固定連接，第二拉桿組件與承載臺固定連接。

5.根據權利要求4所述的光刻機調焦調平機構，其特征在于，所述關節軸承為推力關節軸承、角接觸關節軸承和球頭桿端關節軸承中的一種。

6.一種光刻機調焦調平機構，其特征在于，包括：

底座；

壓電陶瓷驅動器組件，包括固定連接的壓電陶瓷驅動器與球頭支承，所述壓電陶瓷驅動器組件的數量為三個，所述壓電陶瓷驅動器固定于所述底座上，三個所述壓電陶瓷驅動器組件呈直角三角形配置；

承載臺組件，包括承載臺，所述承載臺組件開設有分別用于容置三個球頭支承的條狀槽；

拉簧組件，與所述底座和承載臺固定連接，用于實現承載臺和底座的力封閉。

7.一種根據權利要求6所述的光刻機調焦調平機構，其特征在于，所述條狀槽的截面為V形或圓弧形。

8.一種光刻機調平機構，其特征在于，包括

底座；

壓電陶瓷驅動器組件，包括固定連接的壓電陶瓷驅動器與球頭支承，所述壓電陶瓷驅動器組件的數量為兩個，所述壓電陶瓷驅動器固定于所述底座上；

球頭支桿，包括支桿和固定于所述支桿一端的球頭，所述支桿與所述底座固定連接；

承載臺組件，包括承載臺，所述承載臺組件開設有用于容置所述球頭的弧形槽和用于容置第一球頭支承的條狀槽，所述第二球頭支承設于所述承載臺上；

拉簧組件，與所述底座和承載臺固定連接，用于實現承載臺和底座的力封閉。

9.根據權利要求8所述的光刻機調平機構，其特征在于，所述三角形為等腰直角三角形，且直角為所述球頭支桿對應的角。

10.根據權利要求8所述的光刻機調平機構，其特征在于，所述弧形槽為錐孔或圓孔，所述條狀槽的截面為V形或圓弧形，且條狀槽的槽向與其所在的直角邊方向相同。