[發明專利]電子衍射斷層照相的方法

無效

• 申請號: 201110180956.0
• 申請日: 2011-06-30
• 公開（公告）號: CN102313755A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發明（設計）人: H.何;A.福伊格特
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N23/20
• 分類號: G01N23/20;G01N23/205
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉春元;王忠忠

1.?一種使用電子顯微鏡（100）通過電子衍射斷層照相來確定晶體的晶體結構的方法，該電子顯微鏡裝配為使用電子束（200）照射晶體（202），該方法包含：

??提供其中具有一種或更多晶體（202）的樣品（204），

??識別樣品上待分析的晶體，

??通過重復地執行以下操作來記錄晶體的衍射傾斜序列

???????????○?相對于束使樣品傾斜到已知傾斜角度，

???????????○?相對于束居中晶體，以及

???????????○?記錄在所述傾斜角度處晶體的衍射圖案，

??以及通過分析記錄的衍射圖案來確定晶體結構，

其特征在于，

??在記錄衍射圖像的同時，束相對于晶體保持固定，且束具有比晶體的直徑大的直徑。

2.?根據權利要求1所述的方法，其中相對于束居中晶體涉及偏移束和/或機械地移動晶體。

3.?根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中用于記錄衍射圖案的束是基本平行束。

4.?根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中晶體具有小于10μm、更具體而言小于1μm，最具體而言小于100nm的最大直徑。

5.?根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中晶體是來自催化劑、蛋白質、病毒、DNA和RNA的組的宏觀分子的晶體。

6.?根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中識別大量晶體，且對于每個傾斜角度，記錄大量衍射圖案，每個衍射圖案與晶體之一相關。

7.?根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中電子顯微鏡是冷凍電子顯微鏡且在樣品處于冷凍溫度的同時記錄衍射圖案。

8.?根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中樣品安裝在來自單傾斜保持器和雙傾斜保持器的組的傾斜保持器上，且樣品的傾斜是使該傾斜保持器傾斜的結果。

9.?根據權利要求8所述的方法，其中使用物鏡形成衍射圖案，且在至少部分傾斜位置期間，使用傾斜保持器相對于束和所述物鏡的移動模型，晶體的位置相對于束和所述物鏡居中，其結果是在晶體的居中期間晶體不暴露于電子。

10.?根據權利要求1至8中的任一項所述的方法，其中晶體的居中涉及使用電子束對至少部分樣品進行成像。

11.?根據權利要求10所述的方法，其中使用電子束對樣品進行成像涉及對晶體進行成像。

12.?根據權利要求10所述的方法，其中在形成傾斜序列之前，確定樣品中一個或更多特征相對于晶體位置的位置，且其中使用電子束對樣品進行成像涉及對一個或更多特征進行成像，且一個或更多特征的位置用于居中晶體，其結果是在晶體的居中期間晶體不暴露于電子。

13.?根據權利要求10至12中的任一項所述的方法，其中用于居中晶體的束的直徑不同于用于記錄衍射圖案的束的直徑。

14.?根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中在傾斜序列的記錄期間，晶體暴露于小于10⁵電子/nm²的劑量。

15.?根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中在傾斜序列記錄期間，晶體暴露于小于300電子/(nm²s)的劑量率。