[發明專利]具有分離間隙閥門密封隔間的負載鎖定室

無效

• 申請號: 201110180225.6
• 申請日: 2007-08-03
• 公開（公告）號: CN102254791A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 李在珠;栗田真一;蘇希爾·安瓦爾
• 申請（專利權）人: 應用材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;鐘強

1.一種負載鎖定室，包括：

一主要組合件，所述主要組合件具有一基板輸送腔以及貫穿該主要組合件形成的兩個基板進接端口，所述兩個基板進接端口流體耦合至該基板輸送腔；

一下方基板支撐結構，用以支撐該基板輸送腔中的一第一基板；

一上方基板支撐結構，用以支撐該基板輸送腔中的一第二基板；

一第一致動器，可操作地控制該下方基板支撐結構的高度；以及

一第二致動器，可操作地控制該上方基板支撐結構的高度，而無論該下方基板支撐結構的高度如何。

2.根據權利要求1所述的負載鎖定室，其中該第一致動器通過在該上方基板支撐結構中形成的一形體與該下方基板支撐結構相耦合。

3.根據權利要求1所述的負載鎖定室，其中該第一致動器通過該第二致動器與下方基板支撐結構相耦合。

4.根據權利要求1所述的負載鎖定室，進一步包括：

一第一間隙閥門密封隔間，所述第一間隙閥門密封隔間具有一孔排列于鄰近該些進接端口之一并與該些進接端口成一直線，該第一間隙閥門密封隔間和該主要組合件分離；

一間隙閥門，耦合至該第一間隙閥門密封隔間，并且可操作地開啟和關閉該孔；以及

一密封組合件，將該第一間隙閥門密封隔間耦合至該主要組合件。

5.一種基板支撐裝置，包括：

封閉一基板輸送腔的一個或多個壁，其中所述一個或多個壁中至少其一具有貫穿該壁形成的基板進接端口；

設置于基板輸送腔中的兩個或多個基板支撐結構，其中該兩個或多個基板支撐結構中每個具有基板支撐結構表面，該基板支撐結構表面配置為容納通過基板進接端口輸送的基板；以及

一致動器，該致動器耦合至該兩個或更多個基板支撐結構并且配置為相對于該一個或多個壁的一表面來定位該兩個基板支撐結構。

6.根據權利要求5所述的基板支撐裝置，進一步包括與該一個或多個壁的該表面進行熱交流的溫度調節板。

7.根據權利要求5所述的基板支撐裝置，進一步包括配置為向設置在基板支撐結構表面上的基板傳送熱的燈。

8.一種負載鎖定室，包括：

封閉一基板輸送腔的一個或多個壁，其中所述一個或多個壁中至少其一具有貫穿該壁形成的基板進接端口；

一第一基板支撐結構，用以支撐該基板輸送腔中的一第一基板；

一第二基板支撐結構，用以支撐該基板輸送腔中的一第二基板；

一第一致動器，可操作地控制該第一基板支撐結構相對于該一或多個壁的第一壁的高度。

9.根據權利要求8所述的負載鎖定室，進一步包括一第二致動器，所述第二致動器可操作地控制該第二基板支撐結構的高度，而無論該第一基板支撐結構的高度如何。

10.根據權利要求8所述的負載鎖定室，進一步包括一板，所述板與該第一壁進行熱交流，其中所述板具有用來容納冷卻流體的一或多個通道。

11.根據權利要求10所述的負載鎖定室，其中所述第一壁包括一槽，所述第一基板支撐結構可插入該槽中。

12.根據權利要求8所述的負載鎖定室，進一步包括用來向基板輸送腔傳送熱的燈。

13.根據權利要求8所述的負載鎖定室，進一步包括與所述一或多個壁之一耦合的一或多個氣體擴散器，其中該一或多個氣體擴散器具有多個孔，所述多個孔配置成將流經該些孔的氣體導向設在該第一或第二基板支撐結構上的基板支撐結構表面。

14.根據權利要求8所述的負載鎖定室，進一步包括：

一第一間隙閥門密封隔間，所述第一間隙閥門密封隔間具有一孔排列于鄰近該進接端口并與該進接端口成一直線，該第一間隙閥門密封隔間和該一或多個壁分離；

一間隙閥門，耦合至該第一間隙閥門密封隔間，并且可操作地開啟和關閉該孔；以及

一密封組合件，將該第一間隙閥門密封隔間耦合至該一或多個壁。