[發(fā)明專利]化學(xué)機械拋光方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110178449.3 | 申請日： | 2011-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN102229105A | 公開（公告）日： | 2011-11-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 路新春;王同慶;沈攀;何永勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 清華大學(xué) |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 化學(xué) 機械拋光 方法 | ||
1.一種化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，包括：
A)利用拋光頭夾持晶圓以在拋光墊上對所述晶圓進行化學(xué)機械拋光；和
B)在所述步驟A)開始之前、之后或同時利用修整器對所述拋光墊進行修整，其中所述修整至少持續(xù)至所述化學(xué)機械拋光結(jié)束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，所述化學(xué)機械拋光與所述修整同步進行。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，所述修整與所述化學(xué)機械拋光同時開始，且所述化學(xué)機械拋光先于所述修整結(jié)束。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，在所述化學(xué)機械拋光結(jié)束后，所述修整繼續(xù)進行10秒。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，所述修整頭的修整壓力為0.5-5psi、轉(zhuǎn)速為30-150rpm、擺動頻率為5-30次/分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，所述修整頭的修整壓力為0.5-2psi、轉(zhuǎn)速為60-120rpm、擺動頻率為8-16次/分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，還包括：
C)在所述化學(xué)機械拋光開始之前利用水對所述拋光墊進行沖洗且所述沖洗結(jié)束后再進行所述化學(xué)機械拋光，或在所述化學(xué)機械拋光結(jié)束后利用水對所述拋光墊進行沖洗。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，利用壓力大于10psi的水對所述拋光墊進行沖洗，且所述水的流量大于2升/分鐘。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，利用壓力為10-30psi的水對所述拋光墊進行沖洗，且所述水的流量為2-6升/分鐘。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)機械拋光方法，其特征在于，在所述化學(xué)機械拋光結(jié)束后，開始進行所述沖洗且同時繼續(xù)進行所述修整10秒，所述修整與所述沖洗同時結(jié)束，其中利用壓力為20psi的水進行所述沖洗，且所述水的流量為4升/分鐘。
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