[發(fā)明專利]一種外延層結(jié)深染色的校正方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110178386.1 | 申請日： | 2011-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN102853789A | 公開（公告）日： | 2013-01-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張濤 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華碧檢測技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G01B15/00 | 分類號： | G01B15/00;G01B7/26 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 200000 上海市楊*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 外延 層結(jié)深 染色 校正 方法 | ||
1.一種外延層結(jié)深染色的校正方法，其特征在于：該校正方法包括以下步驟：
A、使用外延片晶圓制備出多份截面樣品，并保證樣品截面不被污染；
B、將截面樣品浸泡入結(jié)染色液，選取一組時間條件進行浸泡；
C、把不同染色時間的截面樣品放入掃描電子顯微鏡中進行深度測量，得出不同深度值并記錄；
D、使用擴展電阻儀測出不同染色時間的截面樣品外延層結(jié)的深度值，并記錄；
E、對比掃描電子顯微鏡測量的結(jié)深值與擴展電阻儀測量的外延層結(jié)深值，選取兩種測量方法誤差最小的時間值作為最優(yōu)時間值，該最優(yōu)時間值即為校正出的最適合的染色時間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外延層結(jié)深染色的校正方法，其特征在于：所述步驟B中的染色液為HF∶HNO3＝1∶100的混合溶液。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種外延層結(jié)深染色的校正方法，其特征在于：所述HF的濃度為49％，所述HNO3的濃度為79％。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外延層結(jié)深染色的校正方法，其特征在于：所述步驟B中選取的時間為45S、60S、75S、90S、120S、150S、180S。
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