[發明專利]化學機械拋光方法無效
| 申請號： | 201110177218.0 | 申請日： | 2011-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN102229101A | 公開（公告）日： | 2011-11-02 |
| 發明（設計）人： | 路新春;王同慶;門延武;何永勇 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械拋光 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種化學機械拋光方法，其特征在于，包括：利用拋光頭夾持晶圓以在拋光盤上對所述晶圓進行化學機械拋光，其中在所述化學機械拋光過程中，所述拋光頭自轉且相對于所述拋光盤往復運動。
2.根據權利要求1所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述往復運動為往復平移。
3.根據權利要求2所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述拋光頭沿所述拋光盤的徑向往復平移。
4.根據權利要求2所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述往復平移的行程為5mm-50mm。
5.根據權利要求4所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述往復平移的行程為15mm-40mm。
6.根據權利要求1所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述往復運動的頻率為5-40次/分鐘。
7.根據權利要求6所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述往復運動的頻率為10-30次/分鐘。
8.根據權利要求7所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述往復運動的頻率為20次/分鐘。
9.根據權利要求1所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述往復運動為鐘擺式運動。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于清華大學，未經清華大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110177218.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種人造板平衡調濕工藝方法
- 下一篇：一種超薄不銹鋼帶的冷軋工藝
