[發明專利]包括新丙烯酸系單體的光刻膠用共聚物和包括其的光刻膠用樹脂合成物

有效

• 申請號: 201110176511.5
• 申請日: 2011-06-28
• 公開（公告）號: CN102731715A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 申珍奉;金真湖;申大鉉;李承宰
• 申請（專利權）人: 韓國錦湖石油化學株式會社
• 主分類號: C08F220/18
• 分類號: C08F220/18;C08F232/08;C08F222/26;C08F222/14;C08F220/28;G03F7/004;G03F7/00;H01L21/312
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 黃麗娟

1.一種光刻膠用共聚物，其包括降冰片烯(norbomene)衍生物和下列化學式1與下列化學式2所表示的丙烯酸(acrylic)系單體(monomer)中至少一種單體作為其重復單位。

[化學式1]

[化學式2]

2.一種光刻膠用樹脂合成物，包括：

100個重量單位的以下列化學式3表示的共聚物；

0.5到15個重量單位的光酸發生劑；和

700到1500個重量單位的溶劑，

[化學式3]

其中，在該化學式中，R₁、R₂和R₃分別相互獨立地表示包括或不包括氫基、醚基(ether?group)、酯基(ester?group)、羰基(carbonyl?group)、縮醛基(acetal?group)、環氧基(epoxy?group)、腈基(nitrile?group)、醛基(aldehyde?group)的C_1-30的烷基(alkyl?group)或C_3-30的環烷基(cyclo?alkyl?group)，R₄、R₅和R₆分別相互獨立地表示氫基或甲基(methyl?group)，l、m、n和o作為分別表示主鏈內重復單位的數目，具有l+m+n+o＝l、0≤l/(l+m+n+o)＜0.4、0＜m/(l+m+n+o)＜0.6、0≤n/(l+m+n+o)＜0.6和0＜o/(l+m+n+o)＜0.4的值。

3.如權利要求2所述的光刻膠用樹脂合成物，其中，所述共聚物的通過共聚物凝膠滲透色譜法GPC(gel?permeation?chromatography)獲得的聚苯乙烯(polystyrene)換算重量平均分子量Mw，為2,000至1000,000。

4.如權利要求2所述的光刻膠用樹脂合成物，其中，所述共聚物的分子量分布(重均分子量/數均分子量)，為1.0至5.0。

5.如權利要求2所述的光刻膠用樹脂合成物，其中，所述化學式3的重復單位“m”和重復單位“n”，包括酸敏感性功能基。

6.如權利要求2所述的光刻膠用樹脂合成物，其中，所述化學式3的重復單位“m”和重復單位“n”，包括含有內酯(lactone)的功能基。