[發明專利]檢查板狀透明體的缺陷的裝置以及缺陷檢查方法

無效

• 申請號: 201110175748.1
• 申請日: 2011-06-24
• 公開（公告）號: CN102368056A
• 公開（公告）日: 2012-03-07
• 發明（設計）人: 谷秀人;金子靜則
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958;G01B11/22
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種檢查板狀透明體的缺陷的裝置，使光照射到存在于板狀透明體的第一表面上的缺陷上并發生散射來檢查上述缺陷，該檢查板狀透明體的缺陷的裝置具備以下部分：

第一發光器，其將光照射到上述板狀透明體的第一側面；

第二發光器，其將光照射到上述板狀透明體的與第一側面相對的第二側面；

第一受光器，其接收由來自上述第一發光器的光產生的前方散射光；以及

第二受光器，其接收由來自上述第二發光器的光產生的前方散射光，

其中，上述第一受光器的受光方向和上述板狀透明體的位于第一表面相反側的第二表面的法線方向之間的角度θ₁為0°＜θ₁≤60°

上述第二受光器的受光方向與上述法線方向之間的角度θ₂為0°＜θ₂≤60°。

2.根據權利要求1所述的檢查板狀透明體的缺陷的裝置，其特征在于，

還具備：

控制單元，其對上述第一發光器的照明光的輸出強度以及上述第二發光器的照明光的輸出強度進行控制，以使在從上述第一側面至上述第二側面為止的觀測區域內，由上述第一受光器和上述第二受光器接收的到達觀察部位的光量成為固定值；以及

計算裝置，其預先存儲與上述第一受光器和上述第二受光器的總受光量的積分值對應的上述缺陷的深度，算出上述第一受光器和上述第二受光器的總受光量的積分值，根據該積分值來算出上述缺陷的深度。

3.根據權利要求1或者2所述的檢查板狀透明體的缺陷的裝置，其特征在于，

上述板狀透明體是FPD用玻璃基板。

4.根據權利要求1或者2所述的檢查板狀透明體的缺陷的裝置，其特征在于，

上述第一受光器的受光方向和上述板狀透明體的位于第一表面相反側的第二表面的法線方向之間的角度θ₁為30°≤θ₁≤45°，

上述第二受光器的受光方向與上述法線方向之間的角度θ₂為30°≤θ₂≤45°。

5.一種檢查板狀透明體的缺陷的方法，使光照射到存在于板狀透明體的第一表面上的缺陷上并發生散射來檢查上述缺陷，該檢查板狀透明體的缺陷的方法的特征在于，

將光從第一發光器照射到上述板狀透明體的第一側面，

將光從第二發光器照射到上述板狀透明體的與第一側面相對的第二側面，

由第一受光器接收由照射到上述第一側面的光產生的第一前方散射光，

由第二受光器接收由照射到上述第二側面的光產生的第二前方散射光，

上述第一受光器的受光方向和上述板狀透明體的位于第一表面相反側的第二表面的法線方向之間的角度θ₁為0°＜θ₁≤60°，

上述第二受光器的受光方向與上述法線方向之間的角度θ₂為0°＜θ₂≤60°。

6.根據權利要求5所述的檢查板狀透明體的缺陷的方法，其特征在于，

對上述第一發光器的照明光的輸出強度以及上述第二發光器的照明光的輸出強度進行控制，以使在從上述第一側面至上述第二側面為止的觀測區域內，由上述第一受光器和上述第二受光器接收的到達觀察部位的光量成為固定值，

算出上述第一受光器和上述第二受光器的總受光量的積分值，根據該積分值來算出上述缺陷的深度。

7.根據權利要求5或者6所述的檢查板狀透明體的缺陷的方法，其特征在于，

上述板狀透明體是FPD用玻璃基板。

8.根據權利要求5或者6所述的檢查板狀透明體的缺陷的方法，其特征在于，

上述第一受光器的受光方向和上述板狀透明體的位于第一表面相反側的第二表面的法線方向之間的角度θ₁為30°≤θ₁≤45°，

上述第二受光器的受光方向與上述法線方向之間的角度θ₂為30°≤θ₂≤45°。