[發(fā)明專利]用于對(duì)薄層的厚度進(jìn)行無損測(cè)量的測(cè)量探頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110174344.0
• 申請(qǐng)日: 2011-04-22
• 公開（公告）號(hào): CN102278938A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H·菲舍爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 赫爾穆特費(fèi)希爾有限責(zé)任公司電子及測(cè)量技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G01B7/06
• 分類號(hào): G01B7/06
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 彭武;譚祐祥

1.一種用于對(duì)薄層厚度進(jìn)行無損測(cè)量的測(cè)量探頭，特別是針對(duì)通過開口可進(jìn)入的空腔中的或在彎曲表面上的薄層，該測(cè)量探頭具有測(cè)量頭(17)并具有抓握元件(12)，測(cè)量頭(17)包括至少一個(gè)傳感器元件(18)和分配到空腔(26)的待檢查表面(27)上的傳感器元件(18)上的至少一個(gè)接觸球冠(31)，抓握元件(12)用于在待檢查表面(27)上和/或沿著待檢查表面(27)定位和引導(dǎo)測(cè)量探頭(11)，特征在于，在抓握元件(12)上設(shè)置一種長(zhǎng)的、彈性屈服的導(dǎo)桿(16)，導(dǎo)桿(16)在它的與抓握元件(12)相對(duì)著的末端上接納至少一個(gè)測(cè)量頭(17，60)，以這種方式，測(cè)量頭是以相對(duì)于導(dǎo)桿(16)的至少一個(gè)自由度可移動(dòng)的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量探頭，其特征在于，至少一個(gè)測(cè)量頭(17，60)布置在外殼(20)中，其被附連到導(dǎo)桿(16)，從而使得其以至少一個(gè)自由度可移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的測(cè)量探頭，其特征在于，通過至少一個(gè)鉸接軸線(21)連接所述外殼(20)和所述導(dǎo)桿(16)，至少一個(gè)鉸接軸線(21)垂直于測(cè)量頭(17，60)的縱向軸線而被定向，測(cè)量頭(17，60)的縱向軸線基本垂直于待檢查表面(27)而被定向。

4.根據(jù)權(quán)利要求2的測(cè)量探頭，其特征在于外殼(20)，外殼(20)接收著測(cè)量頭(17，60)，并且通過球-插座關(guān)節(jié)(46)而互連所述導(dǎo)桿(16)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量探頭，其特征在于，至少一個(gè)測(cè)量頭(17，60)布置在載板(58)上，該載板(58)通過并排布置的多個(gè)條形彈簧元件(59)而保持住。

6.根據(jù)權(quán)利要求5的測(cè)量探頭，其特征在于，條形彈簧元件(59)布置在載板上，并且經(jīng)由連接元件(66)而以相對(duì)著的方式可連接到導(dǎo)桿(16)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5的測(cè)量探頭，其特征在于，在公共平面中并且以彼此相距的一定距離而并排地布置條形彈簧元件(59)，并在載板(58)或探頭單元的重心處相對(duì)于彼此地而施用所述條形彈簧元件。

8.根據(jù)權(quán)利要求5的測(cè)量探頭，其特征在于，彈簧元件(59)是導(dǎo)電的。

9.根據(jù)權(quán)利要求5的測(cè)量探頭，其特征在于，載板(58)置于外殼(20)中，并且彈簧元件(59)被布置成可從外殼(20)自由地移走。

10.根據(jù)權(quán)利要求5的測(cè)量探頭，其特征在于，在載板(58)和外殼(20)之間布置一種能量存儲(chǔ)元件(69)，其結(jié)果是能量存儲(chǔ)元件和該至少一個(gè)測(cè)量頭(17，60)相對(duì)于外殼(20)以可沉入的方式安裝。

11.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量探頭，其特征在于，在鄰近于至少一個(gè)測(cè)量頭(17)處提供至少一個(gè)輔助桿(33)，并且輔助桿(33)被形成為一種接觸球冠，輥或滑動(dòng)元件。

12.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量探頭，其特征在于，通過磁感應(yīng)方法、通過渦流方法或通過直流場(chǎng)方法，至少一個(gè)測(cè)量頭(17)檢測(cè)出層厚，并且至少一個(gè)另外的測(cè)量頭(60)通過前述方法中的任一個(gè)來檢測(cè)出層厚。

13.根據(jù)權(quán)利要求12的測(cè)量探頭，其特征在于，當(dāng)測(cè)量彎曲表面時(shí)，在相對(duì)于沿著待測(cè)量目標(biāo)的彎曲表面(27)上的表面線進(jìn)行測(cè)量的線上，兩個(gè)測(cè)量頭(17，60)相對(duì)于導(dǎo)桿(16)或抓握元件(12)而定位。

14.根據(jù)權(quán)利要求13的測(cè)量探頭，其特征在于，提供兩個(gè)輔助桿(33)和一種測(cè)量頭(17，60)或兩個(gè)不同的測(cè)量頭(17，60)和一個(gè)輔助桿(33)，它們一起形成三點(diǎn)支承。

15.根據(jù)權(quán)利要求11的測(cè)量探頭，其特征在于，在至少一個(gè)測(cè)量頭(17，60)和至少一個(gè)輔助桿(33)之間的區(qū)域中，鉸接軸線(21)或球-插座關(guān)節(jié)(46)布置用于將外殼(20)連接到導(dǎo)桿(16)，其結(jié)果是外殼(20)以可樞轉(zhuǎn)方式保持在導(dǎo)桿(16)上。

16.根據(jù)權(quán)利要求11的測(cè)量探頭，其特征在于，與離所述輔助桿(33)相比離所述測(cè)量頭(17)更接近地定位連接著外殼(20)和導(dǎo)桿(16)或球-插座關(guān)節(jié)(46)的鉸接軸線(21)。

17.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量探頭，其特征在于，測(cè)量頭(17)或測(cè)量頭的傳感器元件(18)布置為使得：其在沿著其縱向軸線的外殼(20)中至少是稍微可移動(dòng)的。