[發明專利]在TEM的衍射平面中使用的阻擋部件

有效

• 申請號: 201110172913.8
• 申請日: 2011-06-24
• 公開（公告）號: CN102299037A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: B.布伊塞;P.C.蒂梅杰
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉春元;盧江

1.?一種用于對樣本進行成像的透射電子顯微鏡（100），所述透射電子顯微鏡示出其中形成樣本的衍射圖案（200）的衍射平面（118），所述衍射平面表示傅立葉域中的樣本的圖像，所述透射電子顯微鏡包括位于衍射平面中的阻擋部件（119）或其圖像，所述阻擋部件阻擋傅立葉域的一部分，所述傅立葉域的被阻擋的部分沿著至少一個方向從低空間頻率（1001）延伸至高空間頻率（1002），

其特征在于

被阻擋部件阻擋的最高空間頻率低于或等于最低空間頻率，其中，在沒有阻擋部件的情況下被成像的所述衍射平面的圖像顯示出約0.5的對比度傳遞。

2.?權利要求1的透射電子顯微鏡，其中，所述阻擋部件被連接到支撐臂。

3.?權利要求1的透射電子顯微鏡，其中，由薄膜來支撐所述阻擋部件，所述膜對于撞擊電子而言是透明的。

4.?權利要求1的透射電子顯微鏡，其中，所述阻擋部件類似于矩形。

5.?權利要求1的透射電子顯微鏡，其中，阻擋部件類似于具有變化的寬度的梯形，其中衍射圖案示出少量的未被衍射的電子，并且通過將未被衍射的電子束定位在具有適當寬度的阻擋部件的一部分附近來選擇被阻擋的空間頻率間隔。

6.?權利要求1的透射電子顯微鏡，其中，所述阻擋部件顯示出離散數目的步幅，每個具有不同的寬度。

7.?權利要求1的透射電子顯微鏡，其中，所述阻擋部件類似于半圓。

8.?權利要求7的透射電子顯微鏡，其中，所述半圓顯示出被連接到支撐臂的直邊，并且所述支撐臂沿著垂直或平行于所述直邊的方向延伸。

9.?前述權利要求1-8中的任一項所述的透射電子顯微鏡，其中，所述阻擋部件被放置在作為衍射平面的圖像的平面中且其中形成衍射平面的變形圖像。

10.?前述權利要求1-8中的任一項所述的透射電子顯微鏡，其中，所述阻擋部件被放置在作為衍射平面的圖像的平面中，并且至少部分地由作為修正器光學裝置的一部分的傳遞光學裝置來實現衍射平面到所述平面上的成像，所述修正器光學裝置用于修正形成衍射圖案的透鏡的像差。

11.?前述權利要求1-8中的任一項所述的透射電子顯微鏡，其中，所述阻擋部件的至少一部分被與地面電隔離，并被電連接到電流測量單元以便測量撞擊在阻擋部件的至少一部分上的電流。

12.?權利要求11的透射電子顯微鏡，其中，使用電流測量來相對于阻擋部件對未被衍射的電子束進行定位。

13.?前述權利要求1-8中的任一項所述的透射電子顯微鏡，還包括用于將阻擋部件加熱的裝置。

14.?前述權利要求1-8中的任一項所述的透射電子顯微鏡，其中，所述衍射圖案示出少量的未被衍射的電子，并且阻擋部件在其中未被衍射的電子束最接近于阻擋部件的位置處顯示出凹痕，作為其結果，減少了阻擋部件的污染。

15.?一種在透射電子顯微鏡中使用阻擋部件的方法，所述方法包括：?

在透射電子顯微鏡的衍射平面中提供阻擋部件，所述阻擋部件阻擋衍射平面的一部分，

其特征在于

被阻擋部分沿著至少一個方向從低頻到高頻阻擋空間頻率，所述高空間頻率低于或等于最低空間頻率，其中在沒有阻擋部件的情況下成像的所述衍射平面的圖像顯示出約50%的對比度傳遞函數（1000）。