[發(fā)明專利]合成物方表面的全數(shù)值孔徑圖的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110170847.0
• 申請(qǐng)日: 2006-04-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102353522A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 保羅.E.墨菲;德拉吉沙.米拉迪諾維克;格雷格.W.福布斯;加里.M.德弗里斯;喬恩.F.弗萊格
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: QED技術(shù)國(guó)際股份有限公司
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 張祥

1.一種從表面的多個(gè)重疊子孔徑數(shù)據(jù)圖合成物方表面的全數(shù)值孔徑圖的方法，包括以下步驟：

a)選擇減小所述重疊子孔徑數(shù)據(jù)圖的測(cè)量誤差的至少一種方法；

b)從所述表面的多個(gè)區(qū)域采集所述多個(gè)子孔徑數(shù)據(jù)圖，至少每個(gè)子孔徑數(shù)據(jù)圖的一部分與至少一個(gè)相鄰子孔徑數(shù)據(jù)圖的一部分重疊，以形成重疊數(shù)據(jù)區(qū)域；

c)將所述多個(gè)重疊子孔徑數(shù)據(jù)圖投影到具有標(biāo)定畸變圖的球坐標(biāo)系統(tǒng)；

d)從由具有自由放大率范圍的自由補(bǔ)償器和具有相同限制放大率的互鎖補(bǔ)償器組成的兩組中的至少一組選擇多個(gè)誤差補(bǔ)償器，以補(bǔ)償所述重疊子孔徑數(shù)據(jù)圖中的拼接誤差；

e)同時(shí)通過(guò)選擇的所述誤差補(bǔ)償器的線性組合，將所述重疊子孔徑區(qū)域中所述數(shù)據(jù)圖的每一個(gè)的不一致最小化。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法還包括過(guò)濾所述子孔徑數(shù)據(jù)圖，所述過(guò)濾發(fā)生在所述采集步驟之后、但在所述不一致最小化步驟之前，其中所述過(guò)濾從所述子孔徑數(shù)據(jù)圖中去除低空間頻率形式。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述方法還包括優(yōu)化所述重疊數(shù)據(jù)區(qū)域中的低空間頻率偏差，其中所述低空間頻率偏差用數(shù)學(xué)基本函數(shù)表示，每個(gè)數(shù)學(xué)基本函數(shù)用自由補(bǔ)償器表示。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述方法還包括平均斜率依賴系統(tǒng)誤差，其中所述子孔徑數(shù)據(jù)圖包括在重疊子孔徑數(shù)據(jù)圖中相同點(diǎn)上的不同局部斜率的重疊數(shù)據(jù)，以平均儀表的斜率依賴系統(tǒng)誤差。