[發明專利]合成物方表面的全數值孔徑圖的方法有效
| 申請號： | 201110170847.0 | 申請日： | 2006-04-05 |
| 公開（公告）號： | CN102353522A | 公開（公告）日： | 2012-02-15 |
| 發明（設計）人： | 保羅.E.墨菲;德拉吉沙.米拉迪諾維克;格雷格.W.福布斯;加里.M.德弗里斯;喬恩.F.弗萊格 | 申請（專利權）人： | QED技術國際股份有限公司 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 張祥 |
| 地址： | 美國伊*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 合成物 表面 數值孔徑 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種從表面的多個重疊子孔徑數據圖合成物方表面的全數值孔徑圖的方法，包括以下步驟：
a)選擇減小所述重疊子孔徑數據圖的測量誤差的至少一種方法；
b)從所述表面的多個區域采集所述多個子孔徑數據圖，至少每個子孔徑數據圖的一部分與至少一個相鄰子孔徑數據圖的一部分重疊，以形成重疊數據區域；
c)將所述多個重疊子孔徑數據圖投影到具有標定畸變圖的球坐標系統；
d)從由具有自由放大率范圍的自由補償器和具有相同限制放大率的互鎖補償器組成的兩組中的至少一組選擇多個誤差補償器，以補償所述重疊子孔徑數據圖中的拼接誤差；
e)同時通過選擇的所述誤差補償器的線性組合，將所述重疊子孔徑區域中所述數據圖的每一個的不一致最小化。
2.如權利要求1所述的方法，所述方法還包括過濾所述子孔徑數據圖，所述過濾發生在所述采集步驟之后、但在所述不一致最小化步驟之前，其中所述過濾從所述子孔徑數據圖中去除低空間頻率形式。
3.如權利要求1所述的方法，其中，所述方法還包括優化所述重疊數據區域中的低空間頻率偏差，其中所述低空間頻率偏差用數學基本函數表示，每個數學基本函數用自由補償器表示。
4.如權利要求1所述的方法，其中，所述方法還包括平均斜率依賴系統誤差，其中所述子孔徑數據圖包括在重疊子孔徑數據圖中相同點上的不同局部斜率的重疊數據，以平均儀表的斜率依賴系統誤差。
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