[發明專利]雙折射晶體光學元件面形偏差測試系統

有效

• 申請號: 201110168927.2
• 申請日: 2011-06-22
• 公開（公告）號: CN102288129A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 高尚武;劉宏欣;鄒建兵;劉華;袁海驥
• 申請（專利權）人: 科納技術(蘇州)有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.雙折射晶體光學元件面形偏差測試系統，其特征在于：包括氦氖激光器、柱透鏡、待測光學元件的夾具以及相隔一定距離的兩個接收屏，其中所述的柱透鏡能夠將氦氖激光器出射的點光源轉化為平行于水平面的單波長線光源，用于光學元件面形偏差的測試。

2.根據權利要求1所述的雙折射晶體光學元件面形偏差測試系統，其特征在于待測的光學元件為雙折射晶體加工而成，能夠將單波長線光源入射的光折射后分為o光和e光兩束光。

3.根據權利要求1所述的雙折射晶體光學元件面形偏差測試系統，其特征在于通過調整6維調整架改變o光反射光的光路并測試第二接收屏上o光兩端的高度差異即可測試出待測平面的面形偏差。

4.根據權利要求1所述的雙折射晶體光學元件面形偏差測試系統，其特征在于調整6維調整架來測量出o光到反射光的高度差H以及光學元件到第二接收屏的距離L，則可計算出待測元件兩個平面的夾角α。

5.根據權利要求1所述的雙折射晶體光學元件面形偏差測試系統，其特征在于第一接收屏接收透過待測光學元件的光，從而判斷待測光學元件是否調節水平，可以提高測試系統的準確性。