[發明專利]功率器件熱真空試驗方法

無效

• 申請號: 201110167989.1
• 申請日: 2011-06-21
• 公開（公告）號: CN102360045A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發明（設計）人: 陽輝;張東;哈文慧;吳文章;鐘征宇;陳冬梅;白樺;劉燕芳;孫旭朋;馮建科
• 申請（專利權）人: 北京圣濤平北科檢測技術有限公司;北京自動測試技術研究所
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種功率器件熱真空試驗方法，其特征在于，包括以下步驟：

S101，將受試功率器件置于常溫、常壓環境中測試受試功率器件 的電性能；

S102，將功率器件安裝在熱真空試驗箱中；

S103，保持熱真空試驗箱的初始環境溫度和壓力不變，對受試功 率器件通電，進行電性能測試；

S104，按設定的壓變速率將試驗箱內壓力減小到試驗要求壓力 值；

S105，按設定的溫變速率降低/升高試驗箱內溫度至試驗要求所 述功率器件需被證明可承受的極限低/高溫度，監測整個過程中所述 功率器件電性能的變化；

S106，保持所述極限低/高溫度持續設定的時間，對所述功率器 件進行敏感參數測試，并監測所述敏感參數的變化；

S107，按所述設定的溫變速率，升高/降低試驗箱內溫度至極限 低/高溫度，監測整個過程中所述功率器件電性能的變化；

S108，保持極限低/高溫度持續設定的時間，對所述功率器件進 行敏感參數測試，并監測所述敏感參數的變化；

S109，若所述電性能測試以及敏感參數變化正常，則一次完整的 循環結束，重復步驟S105-S108至完成試驗要求的循環次數；若某次 循環中所述電性能測試或敏感參數變化不正常，則試驗結束；若全部 循環中所述電性能測試和敏感參數變化均正常，則轉入步驟S100；

S100，將試驗箱的溫度和壓力調節至初始環境溫度和壓力狀態， 對功率器件進行電性能測試；

S111，取出功率器件至常溫、常壓環境下，在限定時間內對其進 行最終電性能測試，試驗結束。

2.如權利要求1所述的功率器件熱真空試驗方法，其特征在于， 在所述步驟S103之前還包括步驟：S201，測試所述熱真空試驗箱是否 密封，以及所述熱真空試驗箱與外部控制系統是否導通，若不密封或 未導通，則進行調試直到密封且導通。

3.如權利要求1所述的功率器件熱真空試驗方法，其特征在于， 根據試驗要求或所述功率器件標稱的可靠性指標確定試驗嚴酷度，從 而確定所述壓變速率、溫變速率以及試驗要求壓力值。

4.如權利要求3所述的功率器件熱真空試驗方法，其特征在于， 所述步驟S104中的試驗要求壓力值不大于1.3×10^-3帕；所述壓變速率 不大于10千帕/分鐘。

5.如權利要求4所述的功率器件熱真空試驗方法，其特征在于， 所述試驗箱內壓力降到20帕的過程的時間至少為10分鐘，在此過程 中檢測所述功率器件有無電暈和電弧放電現象；當壓力降到低于11.3 帕時，檢測有無微放電發生。

6.如權利要求1-5中任意一項所述的功率器件熱真空試驗方法， 其特征在于，所述極限高溫度為+125攝氏度，極限低溫度為-55攝氏 度；在極限高溫度停留的持續時間至少為6.5小時，在極限低溫度停 留的持續時間至少為2.5小時；所述溫變速率不小于1攝氏度/分鐘， 在溫度穩定時，所述試驗箱內的溫度波動不超過3攝氏度/小時。

7.如權利要求6所述的功率器件熱真空試驗方法，其特征在于， 當試驗箱壓力降至臨界壓力值時，按照設定的溫變速率升高/降低試 驗箱內溫度，溫度升至/降至受試功率器件可正常工作狀態下的最高/ 最低溫度時，功率器件斷電，等待一定時間以使功率器件完全放電至 穩定狀態，試驗箱內壓力達到1.3×10^-3帕時，重新給功率器件通電， 并按照設定的溫變速率，升高/降低試驗箱內溫度至試驗所要求的受 試樣品需證明可承受的極限高溫/低溫，監測整個過程中所述功率器 件電性能的變化。

8.如權利要求1所述的功率器件熱真空試驗方法，其特征在于， 所述步驟S109中試驗要求的循環次數為10～500次；在完成所述循環 次數期間，如果中斷次數超過試驗要求循環次數的10％或中斷超過 12小時時，則試驗從S105重新開始循環。

9.如權利要求1所述的功率器件熱真空試驗方法，其特征在于， 若為第一次循環或最后一次循環，所述設定的時間至少為9小時。

10.如權利要求1所述的功率器件熱真空試驗方法，其特征在于， 所述步驟S111中的限定時間為1～24小時。