[發明專利]電泳沉積裝置及電泳沉積方法

無效

• 申請號: 201110167451.0
• 申請日: 2011-06-21
• 公開（公告）號: CN102230207A
• 公開（公告）日: 2011-11-02
• 發明（設計）人: 施文欽;鄭健民;陳昱豪;江美昭;李懷安
• 申請（專利權）人: 華映光電股份有限公司;中華映管股份有限公司
• 主分類號: C25D13/00
• 分類號: C25D13/00
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學俊

1.?一種電泳沉積方法，其特征在于，包括：

提供一電泳槽，該電泳槽承裝一電泳液；

提供一陽極基板以及一陰極基板，該陽極基板包括至少一陽極電極，且該陰極基板包括至少一陰極電極；

將該陽極基板與該陰極基板浸泡于該電泳液中，其中該陽極基板與該陰極基板是相對設置于該電泳槽中；

調整該陽極基板與該陰極基板的相對位置，使得該陽極基板上各區域與相對應的該陰極基板上各區域間具有不相等的距離；以及

分別輸入陽極電壓與陰極電壓至該至少一陽極電極與該至少一陰極電極，以進行一電泳沉積。

2.?如權利要求1所述的電泳沉積方法，其特征在于，其中該陰極基板的一第一陰極區與該陽極基板的一第一陽極區相對設置，該陰極基板的一第二陰極區與該陽極基板的一第二陽極區相對設置，該至少一陰極電極由于壓降使得該第二陰極區的該陰極電極的電壓小于該第一陰極區的該陰極電極的電壓，且該第二陰極區與該第二陽極區之間的距離小于該第一陰極區與該第一陽極區之間的距離。

3.?一種電泳沉積方法，其特征在于，包括：

提供一電泳槽，該電泳槽承裝一電泳液；

提供一陽極基板以及一陰極基板，該陽極基板包括復數個陽極電極，且該陰極基板包括至少一陰極電極；

將該陽極基板與該陰極基板浸泡于該電泳液中，其中該陽極基板與該陰極基板是互相平行設置于該電泳槽中；以及

輸入一陰極電壓至該至少一陰極電極，以及分別輸入不同的陽極電壓至各該陽極電極，以進行一電泳沉積。

4.?如權利要求3所述的電泳沉積方法，其特征在于，其中該陰極基板的一第一陰極區與該陽極基板的一第一陽極區相對設置，該陰極基板的一第二陰極區與該陽極基板的一第二陽極區相對設置，該陰極電極由于壓降使得該第二陰極區的該陰極電極的電壓小于該第一陰極區的該陰極電極的電壓，且該第二陽極區的該陽極電極的電壓大于該第一陽極區的該陽極電極的電壓。

5.?一種電泳沉積裝置，其特征在于，包括：

一電源裝置，該電源裝置包括一陽極端以及一陰極端；

一電泳槽，用以容納一電泳液；

一陰極基板，設置于該電泳槽中，該陰極基板包括至少一陰極電極，與該電源裝置的該陰極端電性連結；以及

一陽極基板，設置于該電泳槽中且對應于該陰極基板，該陽極基板包括至少一陽極電極，與該電源裝置的該陽極端電性連結，其中該陽極基板是以一相對傾斜于該陰極基板的方式設置，使得該陽極基板上各區域與相對應的該陰極基板上各區域間具有不相等的距離。

6.?如權利要求5?所述的電泳沉積裝置，其特征在于，其中該陰極基板包括一第一陰極區對應于該陽極基板的一第一陽極區，該陰極基板包括一第二陰極區對應于該陽極基板的一第二陽極區，該至少一陰極電極由于壓降使得該第二陰極區的該陰極電極的電壓小于該第一陰極區的該陰極電極的電壓，且該第二陰極區與該第二陽極區之間的距離小于該第一陰極區與該第一陽極區之間的距離。

7.?一種電泳沉積裝置，其特征在于，包括：

一電源裝置，該電源裝置包括復數個陽極端以及一陰極端；

一電泳槽，用以容納一電泳液；

一陰極基板，設置于該電泳槽中，該陰極基板包括至少一陰極電極，與該電源裝置的該陰極端電性連結；以及

一陽極基板，與該陰極基板互相平行設置于該電泳槽中，該陽極基板包括復數個陽極電極分別與該電源裝置的該等陽極端電性連結；

其中各該陽極端是用以分別提供不同的陽極電壓至各該陽極電極，且該陰極端是用以提供一陰極電壓至該陰極電極。

8.?如權利要求7所述的電泳沉積裝置，其特征在于，其中該陰極基板包括一第一陰極區對應于該陽極基板的一第一陽極區，該陰極基板包括一第二陰極區對應于該陽極基板的一第二陽極區，該至少一陰極電極由于壓降使得該第二陰極區的該陰極電極的電壓小于該第一陰極區的該陰極電極的電壓，且該第二陽極區的該陽極電極的電壓大于該第一陽極區的該陽極電極的電壓。

9.?如權利要求7所述的電泳沉積裝置，其特征在于，其中該等陽極電極是彼此平行設置。