[發明專利]新型輝光離子滲氮設備

無效

• 申請號: 201110167201.7
• 申請日: 2011-06-21
• 公開（公告）號: CN102234756A
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發明（設計）人: 盧銀德
• 申請（專利權）人: 山東省濰坊生建機械廠（集團）
• 主分類號: C23C8/36
• 分類號: C23C8/36
• 代理公司: 濰坊鳶都專利事務所 37215
• 代理人: 周帥

1.一種新型輝光離子滲氮設備，包括爐體、電源、控制電路和輸氣裝置；爐體包括活動罩、爐座和連接在爐座上的陰極盤，其特征在于爐座上連接有位于陰極盤下方的進氣管，進氣管與輸氣裝置連通；陰極盤設有通孔，進氣管上螺接有輔助陽極，輔助陽極的上端穿過通孔后位于陰極盤上方，輔助陽極內設有內腔，內腔的上端封閉，內腔的下端與進氣管連通，內腔的腔壁上設有出氣孔，輔助陽極通過控制電路與電源的正極電連接。

2.如權利要求1所述的新型輝光離子滲氮設備，其特征在于所述陰極盤上連接有測溫陰極，測溫陰極內設有靠近測溫陰極外表面設置且與控制電路電連接的熱電偶。

3.如權利要求2所述的新型輝光離子滲氮設備，其特征在于所述測溫陰極與滲氮零件形狀和結構一致、材質相同。

4.如權利要求1所述的新型輝光離子滲氮設備，其特征在于所述輔助陽極呈管狀，包括低碳鋼管基體，低碳鋼管基體的外周面上環設有催滲材料層，催滲材料層的外周面上設有連通外部與低碳鋼管基體內腔的出氣孔。

5.如權利要求4所述的新型輝光離子滲氮設備，其特征在于所述催滲材料層為鋁層或鈦層。

6.如權利要求1至5中任一權利要求所述的新型輝光離子滲氮設備，其特征在于所述輸氣裝置包括與進氣管連通的輸氣管，輸氣管上自爐體由近及遠依次串接有流量計、分解爐、干燥箱和閥門。