[發明專利]微型刀具上制備復合硬質涂層的方法及微型刀具

無效

• 申請號: 201110167175.8
• 申請日: 2011-06-21
• 公開（公告）號: CN102230156A
• 公開（公告）日: 2011-11-02
• 發明（設計）人: 羅春峰;陳成;屈建國
• 申請（專利權）人: 深圳市金洲精工科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;B23B27/00
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標事務所(普通合伙) 44240
• 代理人: 田夏

1.一種微型刀具上制備復合硬質涂層的方法，其特征在于，包括以下步驟：

A：對微型刀具待加工表面進行涂層前預處理；

B：對微型刀具待加工表面進行金屬離子注入處理；

C：對微型刀具待加工表面進行硬質涂層沉積處理。

2.如權利要求1所述的微型刀具上沉積硬質涂層的制備方法，其特征在于，所述的步驟C中，硬質涂層沉積采用真空電弧沉積技術實現。

3.如權利要求2所述的微型刀具上沉積硬質涂層的制備方法，其特征在于，所述的步驟C中，硬質涂層沉積采用磁過濾脈沖陰極真空電弧沉積技術實現。

4.如權利要求1所述的微型刀具上制備復合硬質涂層的方法，其特征在于，所述的步驟B中的金屬離子注入處理所采用的金屬為第IVA族元素、第VA族元素、第VIA族元素或其合金。

5.如權利要求4所述的微型刀具上制備復合硬質涂層的方法，其特征在于，所述的步驟B中的金屬離子注入處理所采用的金屬為鈦、鉻、鋁或其合金。

6.如權利要求1所述的微型刀具上制備復合硬質涂層的方法，其特征在于，所述步驟B中，離子注入的能量區間為三千百電子伏特-一萬五千電子伏特。

7.如權利要求1或3所述的微型刀具上沉積硬質涂層的制備方法，其特征在于，所述的步驟C中，在微型刀具表面進行的硬質涂層沉積處理時，采用高純鈦靶作為陰極靶材，在真空腔室中通有氮氣，以在刀具表面結合生產TiN涂層。

8.如權利要求1或3所述的微型刀具上沉積硬質涂層的制備方法，其特征在于，所述的步驟C中，在微型刀具表面進行的硬質涂層沉積處理時，采用原子比為50∶50的鈦鋁合金靶作為陰極靶材，在真空腔室中通有氮氣，以在刀具表面結合生產TiAlN涂層。

9.如權利要求1所述的微型刀具上制備復合硬質涂層的方法，其特征在于，所述的步驟A中對微型刀具待加工表面進行涂層前預處理的步驟包括以下步驟：

進行超聲波清洗：采用金屬凈洗劑在超聲波清洗機中清洗，去除微型刀具表面的粉塵、油脂和銹斑，然后采用大量的去離子水漂洗微型刀具，去除殘留在微型刀具上的清洗劑；之后，將微型刀具放入酒精中清洗，去除微型刀具表面的水；最后，將微型刀具放入丙酮中清洗，去除殘留的油脂；

經過超聲波清洗后，將微型刀具進行烘烤，去除微型刀具表面殘留的丙酮、油脂，并將其揮發裂解的氣體通過真空泵抽走，獲得極其干凈的表面。

10.一種采用如權利要求1-9任一所述方法制出的微型刀具，其特征在于，先對微型刀具待加工表面進行涂層前預處理；再對微型刀具待加工表面進行金屬離子注入處理；再對微型刀具待加工表面進行硬質涂層沉積。