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[發明專利]一種切割硅片的切割線無效

專利信息
申請號: 201110166586.5 申請日: 2011-06-20
公開(公告)號: CN102328352A 公開(公告)日: 2012-01-25
發明(設計)人: 聶金根 申請(專利權)人: 鎮江市港南電子有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04
代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 代理人: 季萍
地址: 212132 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 切割 硅片
【權利要求書】:

1.一種切割硅片的切割線,包括線體,其特征在于,所述線體外周面包覆耐磨層。

2.如權利要求1所述一種切割硅片的切割線,其特征在于,所述耐磨層的厚度為1-3um。

3.如權利要求1所述一種切割硅片的切割線,其特征在于,所述耐磨層為耐磨陶瓷層。

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖;

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