[發明專利]零位傳感器的調節定位裝置及其調節定位方法有效
| 申請號： | 201110165131.1 | 申請日： | 2011-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN102829717A | 公開（公告）日： | 2012-12-19 |
| 發明（設計）人： | 王凱 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 零位 傳感器 調節 定位 裝置 及其 方法 | ||
1.一種零位傳感器的調節定位裝置，其特征在于，包括
底座，所述底座包括凸臺；
XY位移平臺，所述XY位移平臺包括底層、頂層以及貫穿所述底層、頂層的通孔，所述XY位移平臺的底層固定于所述底座；
轉接板，所述轉接板包括通孔，所述轉接板的一側固定于所述XY位移平臺的頂層，所述轉接板的另一側與所述零位傳感器的基座固定連接；
所述凸臺依次穿過所述XY位移平臺的通孔和所述轉接板的通孔，與所述零位傳感器的調節板固定連接；
所述零位傳感器的調節板和基座之間的位移隨所述XY位移平臺的底層和頂層之間的位移而調整。
2.如權利要求1所述的零位傳感器的調節定位裝置，其特征在于，所述XY位移平臺還包括微分頭，通過調節所述微分頭調節所述XY位移平臺的底層和頂層之間的位移。
3.如權利要求1所述的零位傳感器的調節定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的基座與所述轉接板通過定位銷和彈簧柱塞固定連接。
4.如權利要求1所述的零位傳感器的調節定位裝置，其特征在于，所述轉接板與所述XY位移平臺的頂層通過螺紋定位銷固定連接。
5.如權利要求1所述的零位傳感器的調節定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的調節定位裝置還包括參考鏡架和參考鏡架調節座，所述參考鏡架通過所述參考鏡架調節座固定于所述底座的頂面。
6.如權利要求1所述的零位傳感器的調節定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的調節定位裝置還包括用于支撐所述底座的支架，所述支架的底角處設置有調平螺絲，用于對所述支架進行概略調平。
7.如權利要求1所述的零位傳感器的調節定位裝置，其特征在于，所述底座的凸臺包括旋緊扳手，所述旋緊扳手用于鎖緊所述零位傳感器的調節板與所述底座的凸臺。
8.如權利要求1到7中任意一項所述的零位傳感器的調節定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的調節板通過彈性銷配合插銷的方式與所述底座的凸臺固定連接。
9.如權利要求8所述的零位傳感器的調節定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的調節板包括彈性銷孔，所述彈性銷設置于所述底座的凸臺，所述彈性銷穿過所述彈性銷孔，所述插銷插入所述彈性銷，所述彈性銷與所述彈性銷孔過盈配合。
10.如權利要求1所述的零位傳感器的調節定位裝置的調節定位方法，其特征在于，包括如下步驟：
將所述底座的凸臺貫穿所述XY位移平臺的通孔和所述轉接板的通孔，所述凸臺包括彈性銷孔；
將所述轉接板固定于所述XY位移平臺的頂層，所述轉接板包括定位銷孔；
提供所述XY位移平臺的定位塊，所述定位塊包括用于與所述轉接板的定位銷孔對準的第一定位孔和用于與所述凸臺的彈性銷孔對準的第二定位孔，將所述定位塊放置于所述凸臺的上表面且第二定位孔與所述彈性銷孔對準；
將所述第一定位孔與所述轉接板的定位銷孔對準，在所述定位銷孔內插入定位銷，確定所述XY位移平臺與所述底座的相對位置。
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