[發(fā)明專利]化合物、含有該化合物的聚合物及包含該聚合物的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110165111.4
• 申請(qǐng)日: 2011-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN102311371A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱炫相;韓俊熙;李承宰;金惠淵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 錦湖石油化學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C07C309/68
• 分類號(hào): C07C309/68;C07C381/12;C07C303/32;C08F220/38;C08F220/32;C08F220/18;C08F232/08;C08F220/28;G03F7/004;G03F7/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 于輝

1.一種由下式(1)代表的化合物：

[式1]

其中在式(1)中，

R₁₁代表選自氫原子、具有1～10個(gè)碳原子的烷基、具有1～10個(gè)碳原子的全氟烷基和具有1～10個(gè)碳原子的烷氧基中的任一種；

Q₁和Q₂各自獨(dú)立地代表選自氫原子和鹵素原子中的任一種；和

A+代表有機(jī)抗衡離子。

2.一種含有由下式(2)代表的重復(fù)單元的聚合物：

[式2]

其中在式(2)中，

R₁₁、R₄₁和R₄₂各自獨(dú)立地代表選自氫原子、具有1～10個(gè)碳原子的烷基、具有1～10個(gè)碳原子的全氟烷基和具有1～10個(gè)碳原子的烷氧基中的任一種；

Q₁和Q₂各自獨(dú)立地代表選自氫原子和鹵素原子中的任一種；和

A+代表有機(jī)抗衡離子。

3.如權(quán)利要求2所述的聚合物，其中所述聚合物是由下式(3)代表的聚合物：

[式3]

其中在式(3)中，

R₁₁、R₁₂、R₁₃、R₁₄、R₄₁、R₄₂、R₄₃、R₄₄、R₄₅、R₄₆、R₄₇和R₄₈各自獨(dú)立地代表選自氫原子、具有1～10個(gè)碳原子的烷基、具有1～10個(gè)碳原子的全氟烷基和具有1～10個(gè)碳原子的烷氧基中的任一種；

Q₁和Q₂各自獨(dú)立地代表選自氫原子和鹵素原子中的任一種；

R₂₁、R₂₂和R₂₃各自獨(dú)立地代表選自氫原子、烷基、雜烷基、環(huán)烷基、雜環(huán)烷基、芳基、雜芳基和它們的組合中的任一種；

A+代表有機(jī)抗衡離子；

X代表衍生自烯屬單體的聚合單元；和

符號(hào)l、m、n、o和p分別為0＜l≤0.4、0＜m≤0.5、0≤n≤0.5、0≤o≤0.5和0＜p≤0.2，同時(shí)l+m+n+o+p＝1。

4.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物的重均分子量為2,000～100,000，并且分子量分布為1.5～5。

5.一種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其包含含有由下式(2)代表的重復(fù)單元的聚合物：

[式2]

其中在式(2)中，

R₁₁、R₄₁和R₄₂各自獨(dú)立地代表選自氫原子、具有1～10個(gè)碳原子的烷基、具有1～10個(gè)碳原子的全氟烷基和具有1～10個(gè)碳原子的烷氧基中的任一種；

Q₁和Q₂各自獨(dú)立地代表選自氫原子和鹵素原子中的任一種；和

A+代表有機(jī)抗衡離子。