[發(fā)明專利]具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110160477.2
• 申請日: 2011-06-15
• 公開（公告）號: CN102832263A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃志仁
• 申請（專利權(quán)）人: 茂迪股份有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池，包含：一個晶片、一個介電層以及多個背電場結(jié)構(gòu)；該晶片用于將光能轉(zhuǎn)換成電能，并包括一個入光面以及一個相反于該入光面的背面；該介電層包括一個朝向該晶片的背面的第一面、一個相反于該第一面的第二面，以及多個貫穿該第一面及第二面的穿槽；所述背電場結(jié)構(gòu)分別對應(yīng)所述穿槽而位于該晶片的背面處；其特征在于，該具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池還包含：

一個披覆在該介電層的第二面的金屬阻障層，以及一個導(dǎo)電膠層；該金屬阻障層具有多個分別對應(yīng)且連通該介電層的穿槽的穿孔，該金屬阻障層的材料為銀、鉬、鈦鎢合金、鎢、鈦、鉻、鉬鎢合金、鉑、金、鎳或上述的任一組合的合金；該導(dǎo)電膠層包括一個位于該金屬阻障層的表面的表層部，以及多個彼此間隔并自該表層部朝所述穿孔及穿槽突伸且接觸所述背電場結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電接觸部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池，其特征在于，該導(dǎo)電膠層的材料為鋁或鋁合金。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池，其特征在于，該介電層的材料為氧化物、氮化物或氧化物與氮化物的復(fù)合材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池，其特征在于，該金屬阻障層的厚度為10nm～10μm。

5.一種具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池的制造方法，包含下述步驟：步驟A：準備一個用于將光能轉(zhuǎn)換成電能的晶片，并且在該晶片的一個背面形成一個介電層；其特征在于，該制造方法還包含下述步驟：

步驟B：在該介電層的表面形成一個金屬阻障層，所述金屬阻障層的材料為銀、鉬、鈦鎢合金、鎢、鈦、鉻、鉬鎢合金、鉑、金、鎳或上述的任一組合的合金；

步驟C：在該金屬阻障層的表面披覆一層導(dǎo)電膠，并使該導(dǎo)電膠的部分材料進入該金屬阻障層及該介電層；

步驟D：對該晶片施以熱處理，使該導(dǎo)電膠固化成為一個導(dǎo)電膠層，而且在熱處理過程中，該導(dǎo)電膠位于該介電層中的材料經(jīng)由該晶片的背面擴散進入該晶片，使該晶片形成多個位于該背面處的背電場結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池的制造方法，其特征在于，該制造方法還包含一個位在步驟B及步驟C之間的步驟E，在該介電層上形成多個穿槽及在該金屬阻障層上形成多個分別對應(yīng)所述穿槽的穿孔；在步驟C中，該導(dǎo)電膠的部分材料填充于所述穿槽及穿孔；步驟D形成的背電場結(jié)構(gòu)對應(yīng)所述穿槽的位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池的制造方法，其特征在于，步驟E是利用激光燒蝕方式，或涂布蝕刻膠以移除該介電層及該金屬阻障層的局部部位，進而形成所述穿槽及穿孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池的制造方法，其特征在于，步驟C是在披覆該導(dǎo)電膠之后，利用激光焊接方式作局部焊接，使該導(dǎo)電膠的部分材料擴散進入該金屬阻障層及該介電層。

9.根據(jù)權(quán)利要求5至8項中任一項所述的具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池的制造方法，其特征在于，步驟B是利用真空鍍膜方式披覆該金屬阻障層，步驟C是利用絲網(wǎng)印刷或噴墨印刷方式將該導(dǎo)電膠涂布在該金屬阻障層的表面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的具有背電場結(jié)構(gòu)的太陽能電池的制造方法，其特征在于，該金屬阻障層的厚度為10nm～10μm。