[發(fā)明專利]調(diào)節(jié)器檢測裝置及其用以檢測調(diào)節(jié)器的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110158712.2
• 申請日: 2011-06-14
• 公開（公告）號: CN102829707A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李安謙;莊志豪;洪政豪;魏進忠
• 申請（專利權(quán)）人: 虎尾科技大學(xué)
• 主分類號: G01B5/28
• 分類號: G01B5/28
• 代理公司: 北京匯智英財專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11301
• 代理人: 陳踐實

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種調(diào)節(jié)器檢測裝置及其用以檢測調(diào)節(jié)器的方法，特別是一種具有檢測調(diào)節(jié)器的平坦度及其所嵌設(shè)的研磨顆粒數(shù)的裝置及其方法。

背景技術(shù)

近年來因應(yīng)半導(dǎo)體工藝的微細化及線路的復(fù)雜性，晶圓表面的平整度隨之受到重視。為了達到晶圓表面全面整平的效果，目前多使用化學(xué)機械拋光技術(shù)，該化學(xué)機械拋光技術(shù)是依賴機臺的設(shè)計、研磨液、研磨墊及研磨墊調(diào)節(jié)器維持整個化學(xué)機械拋光工藝的穩(wěn)定性，且以該研磨墊調(diào)節(jié)器(Pad?conditioner)刮除該研磨墊表面老化的部份，進而確保晶圓的研磨質(zhì)量。

其中，該研磨墊調(diào)節(jié)器多半是嵌設(shè)有研磨顆粒以對該研磨墊進行較精準的修整工作，特別又以硬度較高的鉆石顆粒作為研磨顆粒較適當(dāng)(稱為鉆石調(diào)節(jié)器)。然而，該鉆石調(diào)節(jié)器經(jīng)長時間的研磨動作后，是容易于該鉆石調(diào)節(jié)器嵌設(shè)有鉆石的表面產(chǎn)生磨損，甚至影響該鉆石顆粒的平坦度，以至于在該鉆石調(diào)節(jié)器表面產(chǎn)生鉆石顆粒不均勻的現(xiàn)象。因此，于長時間的研磨過程后，必須檢測該鉆石調(diào)節(jié)器表面的平坦度及其所嵌設(shè)的鉆石顆粒數(shù)量，以確保該鉆石調(diào)節(jié)器所嵌設(shè)的鉆石顆粒可以充分接觸該研磨墊的表面，而具有較佳的研磨效率。

目前用以檢測該鉆石調(diào)節(jié)器的方法，是提供一檢測裝置，該檢測裝置是包含一大理石平臺及一量測具，該量測具是架設(shè)于該大理石平臺的上方，且該量測具可以為高度規(guī)。借此，將該鉆石調(diào)節(jié)器置放于大理石平臺后，是以高度規(guī)量測具測量該鉆石調(diào)節(jié)器內(nèi)外圈的高度差，而獲得內(nèi)外圈各八個量測點(如圖1所示)，再依該內(nèi)外圈所測得的量測點數(shù)據(jù)進行計算，即可得知該鉆石調(diào)節(jié)器表面的平坦度情形。

然而，上述現(xiàn)有的方法是利用額外架設(shè)的量測具檢測該鉆石調(diào)節(jié)器的內(nèi)外高度差，以此作為判斷該鉆石調(diào)節(jié)器表面平坦度的依據(jù)，因此容易衍生有下述問題：

1、由于該量測具是屬額外架設(shè)的設(shè)備，容易因該量測具與該鉆石調(diào)節(jié)器的對位偏差而影響檢測的結(jié)果，甚至可能因檢測過程產(chǎn)生不當(dāng)碰觸而導(dǎo)致該量測具位移，最終均會造成該鉆石調(diào)節(jié)器的檢測誤差，而增加數(shù)據(jù)判斷的困難性，以至于無法具有穩(wěn)定的檢測效果。

2、再者，該鉆石調(diào)節(jié)器的平坦度是指該鉆石調(diào)節(jié)器所嵌設(shè)的鉆石顆粒接觸待整物(如研磨墊)的均勻度，由于該鉆石顆粒是散布于該鉆石調(diào)節(jié)器的表面，且各該鉆石顆粒經(jīng)長時間研磨后的表面尖銳度亦明顯不同，因此，就上述現(xiàn)有方法是無法針對各該鉆石顆粒的表面尖銳度獲得準確的檢測數(shù)據(jù)，以至于產(chǎn)生該鉆石調(diào)節(jié)器表面的鉆石顆粒與該待整物接觸不均勻的現(xiàn)象，進而增加該鉆石調(diào)節(jié)器表面的磨損率且降低其使用壽命。

3、另外，該鉆石調(diào)節(jié)器不僅需檢測其表面的平坦度，更需要對該鉆石調(diào)節(jié)器所嵌設(shè)的鉆石顆粒數(shù)進行評估，以維持適當(dāng)?shù)你@石顆粒數(shù)。然而，上述現(xiàn)有方法僅針對該鉆石調(diào)節(jié)器的表面平坦度進行測試，并無法同時檢測該鉆石調(diào)節(jié)器所嵌設(shè)的鉆石顆粒數(shù)，因此，當(dāng)該鉆石調(diào)節(jié)器經(jīng)長時間研磨后，往往無法經(jīng)檢測快速得知其中所嵌設(shè)的鉆石顆粒的殘余數(shù)量，以至于常產(chǎn)生鉆石顆粒數(shù)過低而導(dǎo)致研磨效果不佳的現(xiàn)象。

有鑒于上述缺點，該現(xiàn)有的調(diào)節(jié)器檢測裝置及其用以檢測調(diào)節(jié)器的方法確實仍有加以改善的必要。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的乃改良上述缺點，以提供一種調(diào)節(jié)器檢測裝置，其是能夠排除檢測誤差且降低數(shù)據(jù)判斷的困難度，以維持穩(wěn)定的檢測效果。

本發(fā)明的次一目的是提供一種調(diào)節(jié)器檢測裝置，是能夠獲得準確的平坦度檢測數(shù)據(jù)，以提升該調(diào)節(jié)器表面的研磨顆粒均勻度而降低磨損率。

本發(fā)明的再一目的是提供一種調(diào)節(jié)器檢測裝置，是能夠快速得知該調(diào)節(jié)器表面的研磨顆粒數(shù)，以適時更換該調(diào)節(jié)器而維持較佳研磨效率。

本發(fā)明的另一目的是提供一種檢測調(diào)節(jié)器的方法，是能夠快速檢測該調(diào)節(jié)器的表面平坦度及研磨顆粒數(shù)，以維持研磨效率且控制產(chǎn)品合格率。

為達到前述發(fā)明目的，本發(fā)明的調(diào)節(jié)器檢測裝置，是包含：一載臺，是具有供一調(diào)節(jié)器容納的一容置空間，且該載臺形成有一承載面，于該載臺的承載面堆棧有一成形層及一壓印層，該成形層是位于該載臺的承載面與壓印層之間，且該壓印層是貼合于該成形層；及一壓合件，是用以壓合該調(diào)節(jié)器以于該成形層形成壓印痕跡。