[發(fā)明專利]避免氧化爐管二氯乙烯失效的方法和裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110157046.0
• 申請(qǐng)日: 2011-06-11
• 公開（公告）號(hào): CN102820207A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李春龍;王桂磊;李俊峰;趙超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京藍(lán)智輝煌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11345
• 代理人: 陳紅

1.一種避免氧化爐管二氯乙烯失效的方法，用于確保熱氧化生長(zhǎng)過程中二氯乙烯通過N₂的攜帶方式正常通入所述氧化爐管內(nèi)，其特征是：對(duì)于每個(gè)含有二氯乙烯的工藝制程，采集其二氯乙烯重量減少的數(shù)據(jù)，以確保二氯乙烯重量的減少量在正常值范圍內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征是：所述采集二氯乙烯重量減少的數(shù)據(jù)的步驟包括：在制程的開始和結(jié)束時(shí)分別采集二氯乙烯容器內(nèi)的二氯乙烯重量數(shù)據(jù)。

3.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征是：如果所述二氯乙烯重量的減少量不在正常值范圍內(nèi)，則報(bào)警停機(jī)檢查。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征是：所述正常值范圍在DCE正常消耗量標(biāo)準(zhǔn)值的±10％范圍內(nèi)。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征是：所述報(bào)警包括語(yǔ)音報(bào)警和/或聲光報(bào)警。

6.一種避免氧化爐管二氯乙烯失效的裝置，采用如權(quán)利要求1至5所述的任意方法之一，包括氧化爐管和二氯乙烯容器，所述二氯乙烯容器與所述氧化爐管之間通過進(jìn)氣管連接，所述進(jìn)氣管將通過N₂攜帶的二氯乙烯送入所述氧化爐管內(nèi)，其特征是：

在所述二氯乙烯容器的下方安裝有重量測(cè)量裝置，用于每完成一個(gè)含有二氯乙烯的工藝制程后，采集所述二氯乙烯重量減少的數(shù)據(jù)。

7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征是：所述重量測(cè)量裝置還包括報(bào)警器，當(dāng)所述二氯乙烯的重量減少數(shù)據(jù)不在正常值范圍內(nèi)時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征是：所述正常值范圍在DCE正常消耗量標(biāo)準(zhǔn)值的±10％范圍內(nèi)。

9.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征是：所述報(bào)警包括語(yǔ)音報(bào)警和/或聲光報(bào)警。