[發明專利]圖像獲取裝置、缺陷修正裝置以及圖像獲取方法

無效

• 申請號: 201110156806.6
• 申請日: 2011-06-10
• 公開（公告）號: CN102288621A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 矢部正人;長島章浩
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

技術領域

本發明涉及一種獲取將產生有缺陷的基板的一部分放大的圖像的圖像獲取裝置以及圖像獲取方法、修復基板缺陷的缺陷修正裝置。

背景技術

以往，在液晶顯示器、PDP(Plasma?Display?Panel：等離子體顯示面板)、有機EL(Electro?Luminescence：電致發光)顯示器、表面傳導型電子發射元件顯示器等的FPD(Flat?Panel?Display：平板顯示器)基板、半導體晶片、印刷基板等各種基板的制造中，為了提高其成品率，在各圖案形成處理之后通過缺陷檢查裝置(例如參照專利文獻1)來檢查是否存在缺陷，如果存在缺陷，則通過缺陷修正裝置來修正缺陷。在這種缺陷中包含電極以及布線的短路、連接不良、斷線、圖案不良以及附著在基板表面的微粒(particle)、抗蝕劑等異物。

專利文獻1：日本特開2009-192358號公報

發明內容

發明要解決的問題

在以往的缺陷檢查裝置以及缺陷修正裝置中，為了提高成為檢查對象的缺陷檢測精度，使焦點位置最優化之后拍攝檢查對象的電極圖案或者布線圖案，比較該圖案圖像與標本圖案圖像來檢測電極、布線的短路等。然而，在作為測距區域的對焦檢測區域內存在具有高度形狀的卷入型異物的情況下，存在如下問題：導致焦點對焦在該異物上而使電極圖案或者布線圖案模糊。

本發明是鑒于上述問題而作出的，其目的在于提供一種能夠穩定地使焦點對焦在電極圖案或者布線圖案的圖像獲取裝置、缺陷修正裝置以及圖像獲取方法。

用于解決問題的方案

為了解決所述的課題來達成目的，本發明涉及的圖像獲取裝置用于獲取將產生有缺陷的基板的一部分放大的圖像，該圖像獲取裝置的特征在于，具備：攝像部，其具備透鏡以及攝像元件，對上述基板的一部分進行放大拍攝；位置變更部，其對上述攝像部在上述基板上的視場區域進行變更；對焦檢測部，其進行上述透鏡對上述基板的對焦；位置控制部，其控制上述位置變更部，在上述對焦檢測部進行對焦的情況下使上述基板的圖像獲取對象區域內所包含的上述缺陷退避出成為上述對焦的對象的對焦檢測區域；對焦控制部，其固定由上述對焦檢測部對焦后的焦點條件；以及攝像控制部，其在上述對焦控制部固定焦點條件后，使上述攝像部對上述基板的一部分進行放大拍攝。

另外，本發明所涉及的缺陷修正裝置用于將激光照射到基板上來修復上述基板的缺陷，該缺陷修正裝置的特征在于，具備：上述的圖像獲取裝置；以及缺陷修正部，其根據由上述圖像獲取裝置的攝像部獲取的圖像向上述基板照射上述激光來進行修復處理。

另外，本發明所涉及的圖像獲取方法通過攝像部的拍攝來獲取將產生有缺陷的基板的一部分放大的圖像，該圖像獲取方法的特征在于，包括：退避步驟，變更上述攝像部在上述基板上的視場區域，使上述基板的圖像獲取對象區域內所包含的缺陷退避出成為對焦的對象的對焦檢測區域；對焦檢測步驟，進行上述攝像部的透鏡對上述基板的對焦；焦點固定步驟，固定通過上述對焦檢測步驟對焦后的焦點條件；以及攝像步驟，以在上述焦點固定步驟中固定的焦點條件來對上述基板的一部分進行放大拍攝。

發明的效果

本發明在進行對焦時，在使基板的圖像獲取對象區域內所包含的缺陷退避出成為對焦對象的對焦檢測區域的狀態下進行對焦，固定該對焦后的焦點條件之后對基板的一部分進行拍攝，因此能夠在對焦檢測區域中沒有缺陷本身的狀態下進行對焦，能夠穩定地使焦點聚焦在對焦檢測區域的電極圖案或者布線圖案。

附圖說明

圖1是表示具有實施方式1所涉及的缺陷修正裝置的缺陷修正系統的概要結構的框圖。

圖2是表示圖1所示的缺陷修正裝置的結構的框圖。

圖3A是用于說明圖2所示的攝像部的視場區域中的對焦檢測區域的圖。

圖3B是用于說明圖2所示的臺的視場區域中的對焦檢測區域的圖。

圖4是表示圖2所示的缺陷修正裝置中的到圖案匹配處理為止的處理過程的流程圖。

圖5是表示缺陷信息的一個例子的圖。

圖6A是用于說明圖2所示的退避條件獲取部的坐標替換的圖。

圖6B是用于說明圖2所示的退避條件獲取部的坐標替換的圖。

圖7A是用于說明圖2所示的退避條件獲取部的退避條件獲取處理的圖。

圖7B是用于說明圖2所示的退避條件獲取部的退避條件獲取處理的圖。